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- 產(chǎn)品名稱：顯微激光測振儀MLV-100
- 產(chǎn)品型號：顯微激光測振儀MLV-100
- 產(chǎn)品展商：SOPTOP
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- 發(fā)布時間：2018-07-18
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簡單介紹
MLV-100顯微激光測振儀通過顯微光學系統(tǒng)可實現(xiàn)對微小物體的振動測量，使激光光斑達到微米量級，提高測量的準確性，并可通過顯微成像系統(tǒng)實時觀察物體的振動狀態(tài)。
隨著MEMS的日益發(fā)展，顯微式激光測振儀可以測量MEMS元器件的振動和形貌，是專門對微結構的振動測量以及可視化測量分析的理想工具。顯微激光測振儀MLV-100顯微激光測振儀MLV-100
產(chǎn)品描述
顯微激光測振儀MLV-100
MLV-100顯微激光測振儀通過顯微光學系統(tǒng)可實現(xiàn)對微小物體的振動測量，使激光光斑達到微米量級，提高測量的準確性，并可通過顯微成像系統(tǒng)實時觀察物體的振動狀態(tài)。
隨著MEMS的日益發(fā)展，顯微式激光測振儀可以測量MEMS元器件的振動和形貌，是專門對微結構的振動測量以及可視化測量分析的理想工具。
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點直徑*
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大約10um
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頻率響應范圍*
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DC to 25KHz， DC to 100KHz， DC to 1MHz/2.5MHz
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測量速度范圍
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法向*
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50mm/s,500mm/s,1m/s5m/s10m/s
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切向*
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150mm/s, 1500mm/s, 15m/s，30m/s
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濾波設置
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高通、低通濾波設置
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顯微鏡
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目鏡
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放大倍率
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W.D
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光束直徑
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5X
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34mm
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30um
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10X
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34mm
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20um
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20X/50X
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20mm/13mm
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10um/2um
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X-Y平臺
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尺寸
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100X100mm
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移動范圍
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+/-10mm
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分辨率
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0.001mm
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*可根據(jù)客戶要求，并可為客戶定制
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