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技術(shù)文章

物性型固態(tài)傳感器開創(chuàng)了檢測儀表的新途徑
物性型固態(tài)傳感器開創(chuàng)了檢測儀表的新途徑物性型固態(tài)傳感器是在半導(dǎo)體技術(shù)基礎(chǔ)上，進一步實現(xiàn)“材料、器件、電路、儀表”一體化的新型檢測儀表。它的特征是體積小，其敏感元件的尺寸一般為微米級。它由微型機械加工技術(shù)（MEMS）制作而成，包括：光刻、腐蝕、淀積、鍵合和封裝等工藝，利用其中的各向異性腐蝕、犧牲層技術(shù)、LIGA工藝，可以制造出層與層之間有很大差別的三維微結(jié)構(gòu)，包括可活動的膜片、懸臂梁、橋，以及凹槽孔隙\錐體等。這些微結(jié)構(gòu)與特殊用途的薄膜和高性能的電路相結(jié)合能成功地用以制造各種微傳感器，乃至多功能 的敏感元件陣列，實現(xiàn)諸如壓力、力、加速度、角速度、應(yīng)力應(yīng)變、溫度、流量、成像磁場、濕度、pH值、氣體成分、離子和分子濃度等檢測技術(shù)，以及生物傳感器、光電探測器等。
物性型固態(tài)傳感器進一步的發(fā)展是提高微傳感器的性能，實現(xiàn)微傳感器的集成化、陣列化、智能化和網(wǎng)絡(luò)化，加強多變量復(fù)合傳感器、光纖傳感器、網(wǎng)絡(luò)傳感器及無線傳感器的研制。