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產(chǎn)品資料

日本新宇宙 XP-703D 半導(dǎo)體特氣檢漏儀

日本新宇宙 XP-703D 半導(dǎo)體特氣檢漏儀
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  • 產(chǎn)品名稱：日本新宇宙 XP-703D 半導(dǎo)體特氣檢漏儀
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簡單介紹
日本新宇宙 XP-703D 半導(dǎo)體特氣檢漏儀
產(chǎn)品描述

日本新宇宙 XP-703D 半導(dǎo)體特氣檢漏儀 

特點(diǎn)：

  適合于檢測半導(dǎo)體特氣的微量泄漏。

 采用聲光報(bào)警。

規(guī)格

型       號(hào)

XP-703D

檢測對象氣體

半導(dǎo)體材料氣體（胂、膦、乙硼烷、硅烷、氫氣等）

檢測原理

專線型半導(dǎo)體式

采樣方式

自動(dòng)吸引式

可檢測濃度

（單位：ppm）

砷烷    磷烷    乙硼烷     硅烷     氫氣

AsH3    PH3       B2H6      SiH4       H2

0.2     0.3     0.1        0.5        1.0

檢測表示

蜂鳴器斷續(xù)鳴響及指示燈閃爍

應(yīng)答速度

10秒以內(nèi)

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