機(jī)型                      Model

FISCHERSCOPE® X-RAY XDLM 237

X射線鍍層厚度測試儀及材料分析儀

FISCHERSCOPE® X-RAY XDAL 237 SDD

X射線鍍層厚度測試儀及材料分析RoHs檢測儀

備注                                                    Remark

測量元素范圍       Element Range

Cl（17）-U（92）

Al（13）-U（92）

XDAL237 SDD的測量元素范圍更大，可以測P磷等元素

分析軟件                Software

WinFTM(V6 LIGHT)                                    可*多同時(shí)測量4層鍍層，5種元素，在選配BASIC時(shí)可測23層鍍層，24種元素                                                    

WinFTM(V6 BASIC)                                           可*多同時(shí)測量23層鍍層，24種元素                                    

XDLM237的主要應(yīng)用為鍍層厚度的測量，XDAL237SDD不但在測厚方面更具優(yōu)勢，可測量納米級鍍層；并且可以做精-確的材料分析以及RoHs痕量分析。XDAL237 SDD 標(biāo)配 Basic版軟件

X射線發(fā)生裝置               X-Ray Tube

W靶微聚焦射線管                                              

W靶微聚焦射線管                                                

高壓                High voltage

三種可調(diào)高壓：30 kV，40 kV，50 kV                             

三種可調(diào)高壓：10 kV，30 kV，50 kV                         

10kV的電壓可用于測量能量更低的元素（例如：P磷等）

準(zhǔn)直器              Aperture (Collimator)

4個(gè)可切換準(zhǔn)直器（?0.1/?0.2/0.05x0.05/0.2x0.03mm）                                             

4個(gè)可切換準(zhǔn)直器（?0.1/?0.3/?0.6/?0.5*0.15mm)                   

XDAL237配備了更大的0.6mm準(zhǔn)直器，使得測量大樣品和RoHS的應(yīng)用時(shí)，大大提高精度。

測量點(diǎn)大小   Measurement spot size

約 ? 0.1 mm                                          

約 ? 0.15 mm                                         

X射線接收器              X-ray detector

比例接收器  FWHM≤900eV                                       

硅漂移SDD半導(dǎo)體探測器 FWHM≤160eV                      

XDAL237 SDD配備*的SDD硅漂移接收器，有更高的能量分辨率。頻譜上相鄰元素之間干擾更小，精度更高。并且可進(jìn)行痕量分析（可滿足RoHS的應(yīng)用）。

濾波片                Primary filter

3 種可切換濾片 (鎳/鋁/無）                                           

3 種可切換濾片 (鎳/鋁/無）                                          

放大倍數(shù)                   Zoom factor

40X-160X

40X-160X

樣品臺尺寸               Usable sample placement area

300 × 350 mm

300 × 350 mm

移動(dòng)方式                  Travel Mode

電動(dòng)可編程                                              

電動(dòng)可編程                                              

可移動(dòng)范圍                  Maximum travel XY

255*235mm

255*235mm

Z軸                      Z-axis

可編程運(yùn)行                                              Programmable

可編程運(yùn)行                                              Programmable

隨機(jī)元素片                Pure Element

12純元素片：(Ag,Cu,Fe,Ni,Zn,Zr,Mo,Sn,W,Au,Pb,Cr)         12 Pure Element

14純元素片：(Ag,Cu,Fe,Ni,Zn,Zr,Mo,Sn,W,Au,Pb,Cr，Ti，S) 14 Pure Element