OLYMPUS MX61檢測顯微鏡的詳細信息
日本OLYMPUS奧林巴斯高倍顯微鏡硅片8" MX61能對應200 mm晶圓和FPD玻璃基板的電動型號（反射透射兼用）能夠應對從明視場觀察到熒光觀察的多種觀察方法。切換物鏡時亮度光圈連動能進行自動調節(jié)。這些功能實現(xiàn)了快速舒適的檢查環(huán)境。半導體/FPD檢查顯微鏡MX61 觀察影像實例晶圓(明視場觀察) 晶圓(暗視場觀察) 晶圓(微分干涉觀察) 彩色濾色片(透射觀察) UIS2物鏡形成的鮮明的觀察影像UIS2物鏡擁有各種倍率、特殊用途物鏡等豐富的產品陣容，可按照用途選用。另外，波像差控制帶來的高品質，忠實于樣本的中性色彩顯示等，UIS2物鏡無論是在目視觀察中還是在數(shù)碼影像觀察中都能發(fā)揮它的**性能。觀察影像明視場觀察暗視場觀察微分干涉觀察熒光觀察MPLAPON系列產品*大程度校正了色差的平面復消色差物鏡。是世界上首例以95%以上的彌散比例保證了光學性能（波像差）的通用型號物鏡。對應微分干涉觀察、簡易偏振光觀察和AF單元（奧林巴斯U-AFA2MA產品）。MPLFLN/MPLFLN-BD系列產品有著高水準的色差校正的半復消色差透鏡設計的通用物鏡。不僅在明視場觀察中，在熒光、微分干涉和簡易偏振光觀察中都能發(fā)揮**性能。明暗視場觀察請使用BD系列產品。 MPLFLN-BDP系列產品特別在偏振光、微分干涉觀察中能發(fā)揮**性能的通用物鏡。 LMPLFLN/LMPLFLN-BD系列產品有著高水準色差校正的長工作距離平面半復消色差物鏡。由于工作距離較長，能有效防止與有落差的樣本的碰撞。統(tǒng)一了從5 × 到100 × 的瞳孔位置，切換物鏡時不再需要切換DIC三棱鏡。明暗視場觀察請使用BD系列產品。 MPLN/MPLN-BD系列產品實現(xiàn)了視場數(shù)達22的良好平整度的平場消色差物鏡。明暗視場觀察請使用BD系列產品。 SLMPLN系列產品長工作距離降低了樣本的損傷風險。在無色彩滲出的高對比度觀察影像上，甚至可以觀察到細微的線的寬度。 LCPLFLN-LCD系列產品這款物鏡適用于透過LCD面板等玻璃板來觀察樣本。校正環(huán)的采用實現(xiàn)了與玻璃厚度相符的像差校正。考慮了檢查效率的設計主要操作集中配置在前面板上在對比度的決定上起重要作用的亮度光圈（AS）的開閉調節(jié)，與物鏡的切換和觀察模式連動，用一個按鈕就可以操作。此外，用一個手指就可以調光的旋鈕也配置在前面板上，從而提高了檢查速度。物鏡和亮度光圈（AS）的按鈕分別斜向配置，手不離開對焦手柄，只要輕動大拇指就可以操作。這個按鈕的傾斜式設計提高了手指尖的感知，能夠防止錯誤操作。觀察姿勢迅速到位的傾斜鏡筒為了適應視點而調整座椅的高度，或是以不合理的姿勢進行檢查的話會浪費時間，降低工作速度。但是，配備傾斜角度為0 °～42 °（可變高度為150 mm，SEMI S8對應）的傾斜鏡筒，可采取與檢查者體格無關的舒適觀察姿勢，甚至可以站立檢查。此外，這一款鏡筒拉長了從觀察中心軸到觀察者視點的距離，可以在較大的平臺上輕松操作。傾斜鏡筒示意圖**快速的搬運晶圓MX61能與自動晶圓搬送機組合，組合后的尺寸也被設計得很小。能夠無接觸、**和快速的執(zhí)行從內面的宏觀檢查到微觀檢查等多種任務。此外，晶圓盒還可以從前面輕松設置。如果使用選件的遙控器，那么**晶圓的登錄、開始和保存可以在手中快速完成。自動晶圓搬送機AL110（200 mm規(guī)格）組合半導體／FPD檢查顯微鏡MX61規(guī)格光學系統(tǒng)UIS2光學系統(tǒng)（無限遠校正）機身觀察方法明視場/暗視場/微分干涉/簡易偏振光/熒光反射/透射反射/透射照明裝置機身一體型（明視場，暗視場＋1選件）照明系統(tǒng)反射照明100 W鹵素/100 W水銀/75 W氙透射照明纖維光導對焦單元電動/手動手動行程32 mm分辨率/微調靈敏度微調旋鈕轉動1周移動0.1 mm*大樣本高度30 mm物鏡轉換器電動型明視場微分干涉6孔明暗視場微分干涉5孔明暗視場微分干涉6孔明暗視場微分干涉中心輸出5孔手動式-載物臺行程8 × 8 英寸右下手柄：210（X） × 210（Y）mm（透射照明范圍189 × 189 mm）6 × 6 英寸右下手柄：158（X） × 158（Y）mm觀察筒廣角視場（視場數(shù)22）倒置雙目/三目觀察筒正像三目觀察筒超寬視場（視場數(shù)26.5）倒置三目觀察筒正像傾斜三目觀察筒附件單元DUV單元/IR單元/電動載物臺/自動裝載外形尺寸509（W） × 843（D） × 507（H）mm（標準組合）重量40 kg（標準組合）