Felles 直線電機(jī)定位臺(tái)是直流電機(jī)驅(qū)動(dòng)的配置，分辨率有1 μm和0.1 μm，F(xiàn)elles 直線電機(jī)定位臺(tái)采用低剖面設(shè)計(jì)，具有高剛度和熱穩(wěn)定性 。有手動(dòng)版本和真空版本模型。
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Felles 直線電機(jī)定位臺(tái)特點(diǎn)
有插入平臺(tái)7T167-25.07-01。
是專門設(shè)計(jì)用于高速運(yùn)動(dòng)的。其采用了滾珠絲杠，使運(yùn)動(dòng)快速平滑。
定位臺(tái)也可以與顯微鏡組成XY軸裝置使用。
如圖所示，頂板有中心有一可移除插入，插入大小是2英寸，基板上有51×76mm大小的垂直插入槽。
直線電機(jī)定位臺(tái)上的運(yùn)動(dòng)具有高分辨率和高穩(wěn)定性。