美國(guó)Quantum Design 公司生產(chǎn)的綜合物性測(cè)量系統(tǒng)PPMS系列產(chǎn)品，是近年來(lái)受到來(lái)自世界范圍的材料、物理等領(lǐng)域科學(xué)家稱贊的新型綜合物理性質(zhì)測(cè)量?jī)x器。該測(cè)量系統(tǒng)采用美國(guó)Agilent（原美國(guó)瓦里安）渦旋式干泵SH110作為抽真空泵。

Varian干泵內(nèi)部的螺旋密封件一旦磨損嚴(yán)重，將會(huì)造成金屬部件的摩擦，嚴(yán)重影響干泵的使用壽命。密封件應(yīng)每隔半年更換一次。

維修保養(yǎng)步驟：

1.      設(shè)置300K，穩(wěn)定。

2.      拔松探頭后面的環(huán)腔快接接頭（粗）。這樣拔松：用左手頂住后部的同時(shí)，用右手食指和拇指夾住滾紋部分向后用力，接口處松開(kāi)后同時(shí)松手。

3.      把系統(tǒng)切換到排氣狀態(tài)：Instrument-EverColl-Exhaust Pump Output。

4.      關(guān)掉干泵電源。

5.      斷開(kāi)干泵的氣路出口（VCO接口）和入口（KF法蘭連接），把干泵從電子柜取出。