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| 美國瓦里安真空泵及檢漏儀湖北地區(qū)指定產(chǎn)品供應(yīng)商！ |
| 您還在因油旋片泵返油而煩惱嗎？ | 
IDP-3渦旋式干泵 抽速1L/S |
| 由于普通旋片油泵的漏油、噪聲、返油污染、高能耗以及振動等問題給用戶造成**影響，如 |
| 生物制品行業(yè)與半導(dǎo)體行業(yè)的油蒸汽污染與工藝系統(tǒng)返油閥題。真空鍍膜設(shè)備的鍍膜工藝中，在 |
| 20~40Pa真空條件下鍍膜時，如果應(yīng)用普通旋片機械真空泵作為前級真空泵將對鍍膜工藝設(shè)備造 |
| 成污染，影響成膜量。半導(dǎo)體晶片制造工藝當(dāng)中使用油泵與使用干泵相比，成品率存在明顯的 |
| 差距，并且排出的油霧蒸汽對環(huán)境也有污染?？茖W(xué)儀器行業(yè)尤其是在分析試儀器行業(yè)，采用 |
| 油泵對測試結(jié)果將造成**影響。大型同步輻射光束線上采涸用渦旋無油真空泵作為前級真空泵 |
| 的作用也相當(dāng)明顯。另外渦旋無油真空泵消除了普通油泵的漏油給用戶帶來的環(huán)境污染與煩惱 |
| 煩。瓦里安渦旋式干泵能夠真正解決你的煩惱，使系統(tǒng)完全無油。 |
| 渦旋泵式干泵 | 
SH-110渦旋式干泵 抽速2L/S |
| Varian 公司利用干式渦旋真空獲得技術(shù)為用戶提供了高抽速，低極限壓強的真空泵產(chǎn)品。這 |
| 種干式渦旋泵具有全無油、高耐用性、高可靠性以及易維護等優(yōu)勢，使眾多應(yīng)用領(lǐng)域的理想前 |
| 級真空獲得產(chǎn)品。IDP-3干式渦旋泵是Varian公司*新推出的緊湊型全無油的高性能真空 |
| 泵， 是世界上*小的渦旋泵，用于各種粗真空獲得應(yīng)用。 |
| TriScroll300/600是Varian公司生產(chǎn)的一款用于初級真空獲得的多極干式渦旋泵產(chǎn) |
| 品，具有出色的工作穩(wěn)定性。TriScroll600以高抽速為用戶提供了具有較低極限真空 |
| 的無油潔凈環(huán)境。 |
| 渦旋泵式干泵的特點： | 
TS300渦旋式干泵 抽速4L/S |
| ※全無油泵，不會污染真空系統(tǒng)。 |
| ※配有自動氣鎮(zhèn)閥以有效排空水蒸氣,可抽可凝性氣體。 |
| ※維護簡便，只需定期更換密封圈即可。 |
| ※具有軸承吹掃功能，保護軸承不被工藝氣體或粉塵污染。 |
| ※內(nèi)置故障保護隔離閥保證真空系統(tǒng)的被污染。 |
| ※獨有的TriScrollTM專業(yè)結(jié)構(gòu)設(shè)計，使TriScroll渦旋干泵具有可靠性和耐久性。 |
| 渦旋式干泵VS油旋片泵 | TS600渦旋式干泵 抽速8L/S |
| 1.渦旋真空泵的主要優(yōu)點是間隙小、泄漏少，具有較高的壓縮比，在較寬的陋力范圍內(nèi)有穩(wěn)定的 |
| 抽速，工作壓力范圍寬；由于壓縮腔容積的變化是連續(xù)的，因而驅(qū)動扭矩變化小，功率變化 |
| 小， 振動噪聲低，可靠性高。這是其它類型的干式真空泵所不具備的。 |
| 2.為防止普通旋片油真空泵對真空系統(tǒng)的返油污染，需要在抽氣系統(tǒng)中加冷阱捕獲油分子；系統(tǒng) |
| 運行過程當(dāng)中還需要定期清洗除油；有的需要定期更換真空泵油。采用渦旋無油真空泵： |
| **不需要加冷阱之類捕油機構(gòu)、**不需要換真空泵油、第三振動更小、運行更平穩(wěn)、 |
| 第四能耗降低、 第五重量更輕、第六突破了油泵使用范圍的限制，上述優(yōu)點使渦旋無油真空 |
| 泵成為普通旋片油真空泵的更新?lián)Q代產(chǎn)品。 |
| 技術(shù)文章及產(chǎn)品應(yīng)用 |
| 1.渦旋式干泵的工作原理 |
| 2.無油渦旋式干泵的優(yōu)點 |
| 3.使用渦旋式干泵的基本常識 |
| 4.渦旋式干泵的應(yīng)用領(lǐng)域：半導(dǎo)體制備設(shè)備與處理室抽真空泵；用于液晶注入系統(tǒng)；分子泵真空系統(tǒng)的前級泵；真空密封泵 |
| 冷泵前級；用于科學(xué)和化學(xué)分析儀器；真空發(fā)生器；電子顯微鏡前級泵；集成電路；太陽能電池等設(shè)備中的無油抽氣系統(tǒng)； |
| 真空冶金工業(yè)的真空脫氣；真空熔煉；鋼水真空處理,空間模擬；低密度風(fēng)洞等裝置中抽除非腐蝕性氣體化工、食品、醫(yī)藥； |
| 電機制造等工業(yè)的蒸餾蒸發(fā)、干燥等。 |
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