RGA100/RGA200/RGA300殘余氣體分析儀

應(yīng)用領(lǐng)域：

真空腔殘余氣體分析；真空腔及閥門檢漏；半導(dǎo)體工業(yè)：刻蝕、濺射、蒸鍍的過程監(jiān)測；科研高真空領(lǐng)域：表面科學(xué)、加速器、掃描電鏡、宇航空間模擬室、排氣室等；現(xiàn)場大氣成分分析（大氣污染檢測、防化的便攜式裝備）；工業(yè)應(yīng)用：反應(yīng)氣體污染的檢測等。

產(chǎn)品特點：

※100, 200和300amu系統(tǒng) 優(yōu)于1amu的分辨率

※在一次掃描內(nèi)有6個數(shù)量級的動態(tài)保存

※可檢測大5 x 10-14 Torr

※實時RGA Windows 和 LabVIEW 軟件

※現(xiàn)場可替換電子倍增管和燈絲,RS-232 接口