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產(chǎn)品名稱：RTS-8數(shù)字式四探針測試儀
產(chǎn)品型號：RTS-8
產(chǎn)品展商：其它品牌
產(chǎn)品文檔：無相關(guān)文檔

簡單介紹

RTS-8數(shù)字式四探針測試儀按照單晶硅物理測試方法國家標準并參考美國 A.S.T.M 標準而設(shè)計的，專用于測試半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的專用儀器。測量范圍電阻率：10-4～105 Ω.cm(可擴展)；方塊電阻：10-3～106 Ω/□(可擴展)；電導(dǎo)率：10-5～104 s/cm；電阻：10-4～105 Ω；歡迎選購，咨詢電話：馮小姐

產(chǎn)品描述

儀器由主機、測試臺、四探針探頭、計算機等部分組成，測量數(shù)據(jù)既可由主機直接顯示，亦可由計算機控制測試采集測試數(shù)據(jù)到計算機中加以分析，然后以表格，圖形方式統(tǒng)計分析顯示測試結(jié)果。
儀器采用了*新電子技術(shù)進行設(shè)計、裝配。具有功能選擇直觀、測量取數(shù)快、精度高、測量范圍寬、穩(wěn)定性好、結(jié)構(gòu)緊湊、易操作等特點。
本儀器適用于半導(dǎo)體材料廠、半導(dǎo)體器件廠、科研單位、高等院校對半導(dǎo)體材料的電阻性能測試。

RTS-8四探針軟件測試系統(tǒng)是一個運行在計算機上擁有友好測試界面的用戶程序，通過此測試程序輔助使用戶簡便地進行各項測試及獲得測試數(shù)據(jù)并對測試數(shù)據(jù)進行統(tǒng)計分析。
測試程序控制四探針測試儀進行測量并采集測試數(shù)據(jù)，把采集到的數(shù)據(jù)在計算機中加以分析，然后把測試數(shù)據(jù)以表格，圖形直觀地記錄、顯示出來。用戶可對采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看，還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到Excel中，讓用戶對數(shù)據(jù)進行各種數(shù)據(jù)分析

技　術(shù)　指　標：

測量范圍	電阻率：10^-4～10⁵ Ω.cm(可擴展)；方塊電阻：10^-3～10⁶ Ω/□(可擴展)；電導(dǎo)率：10^-5～10⁴ s/cm；電阻：10^-4～10⁵ Ω；
可測晶片直徑	140mmX150mm(配S-2A型測試臺)； 200mmX200mm(配S-2B型測試臺)； 400mmX500mm(配S-2C型測試臺)；
恒流源	電流量程分為1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六檔，各檔電流連續(xù)可調(diào)
數(shù)字電壓表	量程及表示形式：000.00～199.99mV；　　　　分辨力：10μV；輸入阻抗：>1000MΩ；精度：±0.1% ；顯示：四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示；極性、超量程自動顯示；
四探針探頭基本指標	間距：1±0.01mm；針間絕緣電阻：≥1000MΩ；機械游移率：≤0.3%；探針：碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm；探針壓力：5～16 牛頓(總力)；
四探針探頭應(yīng)用參數(shù)	(見探頭附帶的合格證)
模擬電阻測量相對誤差 ( 按JJG508-87進行)	0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.3%±1字
整機測量*大相對誤差	(用硅標樣片：0.01-180Ω.cm測試)≤±5%
整機測量標準不確定度	≤5%
計算機通訊接口	并口，高速并行采集數(shù)據(jù)，連接電腦使用時采集數(shù)據(jù)到電腦的時間只需要1.5 秒（在 0.1mA、1mA、10mA、100mA量程檔時）。連接電腦使用時帶自動測量功能，自動選擇適合樣品測試電流量程；
標準使用環(huán)境	溫度：23±2℃；相對濕度：≤65%；無高頻干擾；無強光直射；

上海麥聚瑞電子儀器有限公司是一家專業(yè)從事生產(chǎn)、代理、經(jīng)銷儀器儀表、電子工具、配套設(shè)備的綜合性企業(yè)。

主要銷售：LCR數(shù)字電橋，數(shù)字示波器，瓶蓋扭力測試儀，多效能信號發(fā)生器，數(shù)字存儲示波器，ROHS檢測等等測量儀器、工具等。（點擊關(guān)鍵詞可進入相關(guān)產(chǎn)品目錄）

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咨詢電話： 53084218 53084219

聯(lián)系人：馮小姐/景小姐

公司地址：上海市北京東路668號科技京城C座

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RTS-8數(shù)字式四探針測試儀