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高斯計(jì)三維探頭的應(yīng)用以及檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)
  高斯計(jì)三維探頭的應(yīng)用以及檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)
      磁場(chǎng)在空間的矢量方向是無(wú)法直接感知的，當(dāng)使用一維傳感器測(cè)量時(shí)，均勻磁場(chǎng)較容易測(cè)量，非均勻磁場(chǎng)如果傳感器感應(yīng)區(qū)域與磁場(chǎng)方向不垂直的時(shí)候，所輸出的感應(yīng)電壓或電流無(wú)法反映磁場(chǎng)的強(qiáng)度實(shí)際大小。所以，要準(zhǔn)確測(cè)量磁場(chǎng)的大小，必須使用三維傳感器進(jìn)行測(cè)量。 

      交變磁場(chǎng)在空間中更是以三維矢量的形式存在的，只對(duì)矢量磁場(chǎng)的一個(gè)或兩個(gè)分量測(cè)量時(shí)，探測(cè)到的磁場(chǎng)值可能有較大的偏差。 

      三維探頭的使用使得測(cè)量非常便捷，由于是矢量值，不用擔(dān)心角度是否垂直，還可以通過(guò)步進(jìn)馬達(dá)和分析軟件，劃出磁鐵的磁力線分布，方便用戶對(duì)磁鐵充磁效果進(jìn)行分析。 

      目前針對(duì)三維探頭的檢測(cè)是按照單軸精度來(lái)測(cè)量，這樣測(cè)量得出的精度并不準(zhǔn)確。三維探頭精度的測(cè)量還需要對(duì)其正交誤差進(jìn)行測(cè)量，如果非正交性誤差較大，則測(cè)出的矢量值是無(wú)法滿足實(shí)際工程應(yīng)用的。對(duì)三維高斯計(jì)探頭的計(jì)量，不應(yīng)該以 X 、 Y 、 Z 軸各自的精度來(lái)計(jì)量，應(yīng)該考慮其正交性。在均勻磁場(chǎng)中，分別以 X Y Z 軸垂直于被測(cè)磁場(chǎng)，以 X 軸為例， X 軸*大值的時(shí)候， Y Z 軸應(yīng)該為 0 高斯，如果有數(shù)值，就能計(jì)算出該方向上的矢量值與實(shí)際值的誤差，同理 Y Z 軸也同樣的方法，根據(jù)誤差分析原理進(jìn)行誤差計(jì)算。 

      目前三維高斯計(jì)探頭，關(guān)鍵技術(shù)難點(diǎn)在于無(wú)法使三個(gè)霍爾傳感器兩兩垂直（正交性達(dá)不到要求）。目前的貼片技術(shù)無(wú)法使微小的傳感器兩兩相互垂直，要使探頭達(dá)到更高的精度，必須是采用激光雕刻技術(shù)在傳感器制作過(guò)程中使其垂直，得到更好的正交性。 

      目前德國(guó)以及瑞士在高斯計(jì)三維探頭上的研究處于**地位，比如德國(guó)柯雷技術(shù)的三維探頭就是采用激光雕刻技術(shù)制作而成，產(chǎn)品已經(jīng)很成熟，已經(jīng)市場(chǎng)化標(biāo)準(zhǔn)化， 3 個(gè)霍爾傳感器的感應(yīng)區(qū)控制在 0.1x 0.1 x 0.1 mm3 的空間以內(nèi)，每個(gè)傳感器的正交性優(yōu)于 0.05 度 ， 傳感器尺寸 ( 毫米 ) 4 x 4 x 1.5 。 

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