技術(shù)參數(shù):
載物臺(tái)面積
縱向移動(dòng)范圍
橫向移動(dòng)范圍
軸向升降范圍
同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu),調(diào)焦范圍
微動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)一圈升降
格值
550mm×510mm
508mm
544mm
300mm
25mm
0.2mm
0.002mm