技術參數(shù):
測量范圍不平度平均高度值(微米)
表面光潔度
所需物鏡
總放大倍數(shù)
物鏡組件工作距離(毫米)
視場(毫米)
>0.8~1.6
9
60倍N.A.0.55
510倍
0.04
0.3
>1.6~6.3
8~7
30倍N.A.0.40
260倍
0.2
0.6
>6.3~20
6~5
14倍N.A.0.20
120倍
2.5
1.3
>20~80
4~3
7倍N.A.0.12
60倍
9.5