表面粗糙度儀有很多種,具體選擇要根據(jù)工件的尺寸大小、材質(zhì)、粗糙度值來選擇。一般來說粗糙度儀分為接觸式和非接觸式兩種,接觸式又有臺式和便攜式兩種,接觸式輪廓儀在機(jī)械制造行業(yè)應(yīng)用很常見;非接觸式主要是白光干涉儀,白光干涉儀精度高,可以達(dá)到0.1納米,主要用于超精密表面粗糙度測量,在半導(dǎo)體行業(yè)、3C行業(yè)、光學(xué)以及高等院校應(yīng)用較多。
臺式粗糙度儀是一款可大量程全自動的粗糙度測量儀器;采用進(jìn)口高精度電感測量系統(tǒng)、高精度研磨導(dǎo)軌、高性能非接觸直線電機(jī)、高性能計算機(jī)控制系統(tǒng)技術(shù),實現(xiàn)對各種工件表面粗糙度進(jìn)行測量和分析。通過高精度研磨導(dǎo)軌、高性能直線電機(jī)保證測量的高穩(wěn)定性及直線度,采用進(jìn)口高精度電感測量系統(tǒng)建立工件表面的二維坐標(biāo),描繪出真實的原始輪廓,再按照標(biāo)準(zhǔn)對工件表面的粗糙度進(jìn)行各種參數(shù)分析。
便攜式粗糙度儀廣泛應(yīng)用于機(jī)械加工、汽車、軸承、機(jī)床、模具、精密五金等行業(yè)。
白光干涉儀可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、國防**、科研院所等領(lǐng)域中??蓽y各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等,提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)共計300余種2D、3D參數(shù)作為評價標(biāo)準(zhǔn)。