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PCB線路板潔凈車間進(jìn)化過(guò)程的設(shè)計(jì)方案應(yīng)注意哪些！
集成電路潔凈廠房是為了滿足半導(dǎo)體制造技能需要的潔凈室，該潔凈室對(duì)環(huán)境潔凈度、溫濕度、振動(dòng)、ESD(靜電控制)、AMC(氣態(tài)分子級(jí)污染物)控制等都有一定的需要。相對(duì)于其他工業(yè)潔凈室，集成電路制造潔凈室有面積大、潔凈等級(jí)高、溫濕度控制精度**特征。

FFU循環(huán)系統(tǒng)的特征是：全部潔凈室由靜壓層、技能層、技能輔佐層和回風(fēng)通道構(gòu)成，由FFU供應(yīng)循環(huán)空氣的動(dòng)力，將新風(fēng)、循環(huán)風(fēng)混合后通過(guò)超高效過(guò)濾器送入技能層和技能
輔佐層，靜壓層相對(duì)于技能層為負(fù)壓。此外，還有出產(chǎn)輔佐區(qū)為集成電路制造廠務(wù)設(shè)備區(qū)域，包括電力供應(yīng)、氣體和化學(xué)品供應(yīng)、超純水供應(yīng)等。
AMC控制標(biāo)準(zhǔn)更加嚴(yán)峻
集成電路制造對(duì)潔凈室環(huán)境的控制有較為嚴(yán)峻的需要。不一樣的技能制程對(duì)潔凈度的需要也各不相同，例如光刻需要在1級(jí)的微環(huán)境下，而化學(xué)機(jī)械研磨則只需要1000級(jí)的環(huán)境即
可。


選用FFU系統(tǒng)的潔凈室一般通過(guò)FFU的散布率來(lái)抉擇該潔凈室的潔凈等級(jí)，潔凈室的正壓通過(guò)新風(fēng)量來(lái)控制，潔凈室溫濕度的控制是通過(guò)循環(huán)空氣冷卻系統(tǒng)(RCU)和新風(fēng)空調(diào)系統(tǒng)
(MAU)完結(jié)。
ESD也是半導(dǎo)體制造環(huán)境控制的重要內(nèi)容，靜電開(kāi)釋或許對(duì)產(chǎn)品和出產(chǎn)設(shè)備構(gòu)成危害，還或許引起硅片表面塵粒吸附，影響產(chǎn)品的良率。靜電消除要在潔凈室方案上進(jìn)行整體考
慮，除了設(shè)備接地(包括潔凈墻板和高架地板，辦公設(shè)備等)外，還要選用防靜電墻板、高架地板，人員需要穿戴防靜電的潔凈服、潔凈鞋。對(duì)存在ESD危害風(fēng)險(xiǎn)的設(shè)備和出產(chǎn)區(qū)域應(yīng)
設(shè)備靜電消除器。

FFU系統(tǒng)已成干流方案

根據(jù)潔凈室空氣循環(huán)特征可以將潔凈室分為三種類型：循環(huán)空調(diào)機(jī)協(xié)作高效送風(fēng)口系統(tǒng)、循環(huán)風(fēng)機(jī)協(xié)作濕式密封系統(tǒng)和FFU(風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元)循環(huán)系統(tǒng)。
**種方法在小規(guī)模低等級(jí)需要的潔凈室方案中被廣泛應(yīng)用，對(duì)于大面積**級(jí)的潔凈室則存在工作本錢過(guò)高、占用空間過(guò)大等缺點(diǎn)。
**種方法的方案可以滿足集成電路制造潔凈室大面積**級(jí)的需要，但工作本錢較高，而且潔凈室風(fēng)速、風(fēng)量調(diào)理困難，系統(tǒng)晉級(jí)改造困難，因此操作靈活性很低。
第三種的FFU循環(huán)系統(tǒng)不只節(jié)省工作空間、潔凈度**性高、工作本錢低，而且操作靈活性很高，可以在不影響出產(chǎn)的情況下隨時(shí)進(jìn)行系統(tǒng)晉級(jí)和調(diào)整，這些都能極好地滿足半
導(dǎo)體制造的需要，因此在半導(dǎo)體制造業(yè)FFU循環(huán)系統(tǒng)逐漸變成*主要的潔凈方案方案。

AMC是危害出產(chǎn)技能并致使成品率降低的分子態(tài)化學(xué)物質(zhì)。AMC會(huì)在半導(dǎo)體制造的柵底氧化、薄膜、多晶硅和硅化物構(gòu)成、接觸成型、光刻等多個(gè)要害技能上構(gòu)成各種危害，影
響產(chǎn)品質(zhì)量，是半導(dǎo)體制造面對(duì)的越來(lái)越嚴(yán)峻的疑問(wèn)，也是出產(chǎn)環(huán)境控制中亟待解決的疑問(wèn)?？梢灶A(yù)見(jiàn)，跟著半導(dǎo)體制造技能的展開(kāi)，對(duì)AMC的控制標(biāo)準(zhǔn)將越來(lái)越嚴(yán)峻，而單一的采
用化學(xué)過(guò)濾器去掉AMC的控制方法有許多條件限制，而且會(huì)大幅進(jìn)步工作本錢。因此應(yīng)當(dāng)從方案選址、設(shè)備選型、改善技能流程等多方面加以考慮。
別的，集成電路制造潔凈廠房對(duì)噪聲、微振、照度等都有相關(guān)的規(guī)則和需要，尤其是振動(dòng)的控制，在潔凈室的建筑構(gòu)造方案上就要有所需要。要害設(shè)備有必要設(shè)備獨(dú)自的防振基
礎(chǔ)。
潔凈系統(tǒng)方案出色節(jié)能理念
好的潔凈室方案不只能節(jié)省能源、降低工作本錢、降低人力投入，而且可以給出產(chǎn)供應(yīng)**可靠的確保。在3種潔凈系統(tǒng)中，F(xiàn)FU循環(huán)系統(tǒng)工作本錢*低，潔凈度**性*高，
因此集成電路潔凈廠房多選用FFU循環(huán)系統(tǒng)。而潔凈度需要越高，溫濕度控制精度越高則潔凈室出資和工作本錢越高，因此在大環(huán)境潔凈度或溫濕度需要相對(duì)較低的情況下，將一些
要害的技能設(shè)備安置在較高潔凈度或溫濕度控制區(qū)域內(nèi)(比如潔凈地道和微環(huán)境)是集成電路制造潔凈廠房的方案趨勢(shì)。
MAU是潔凈系統(tǒng)工作本錢*高的有些，因此在方案上可以考慮通過(guò)熱回收進(jìn)行節(jié)能。夏天可以使用新風(fēng)空調(diào)的預(yù)熱盤管將熱回收到再熱盤管，節(jié)省熱水用量;選用噴淋室加濕設(shè)
計(jì)，可以減少熱丟失，且可以安穩(wěn)而高效地去掉新風(fēng)中的AMC，延伸化學(xué)過(guò)濾器壽數(shù)。在工作上要有用控制技能排風(fēng)量以降低新風(fēng)用量，降低MAU送風(fēng)溫度，減少加熱量和潔凈室內(nèi)
冷負(fù)荷。
集成電路制造是高能耗的產(chǎn)業(yè)，而潔凈空調(diào)系統(tǒng)的能耗則占其間的30%以上，因此節(jié)能**的潔凈室方案和各種熱能回收方案將是未來(lái)的展開(kāi)方向。
跟著集成電路制造技能的不斷晉級(jí)，干流大廠現(xiàn)已進(jìn)入了納米時(shí)代，集成電路制造潔凈廠房的方案創(chuàng)造和節(jié)能立異也需要不斷提高，為先進(jìn)制程產(chǎn)品出產(chǎn)供應(yīng)保證