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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:Polyteknik - 真空鍍膜設(shè)備

  • 產(chǎn)品型號:
  • 產(chǎn)品廠商:其它品牌
  • 產(chǎn)品價格:0
  • 折扣價格:0
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡單介紹:
Polyteknik - 真空鍍膜設(shè)備
詳情介紹:
l   度身訂做可于同一臺設(shè)備上整合不同工藝?
    電子束蒸鍍?
       磁控濺射(直流、射頻)
?   等離子化學(xué)氣相沉積
    HIPIMS(高功率脈沖磁控濺鍍,High Power Impulse Magnetron Sputtering
    掠射角沉積(GLAD - Glanced Angle Deposition
l   加載互鎖真空室(Loadlock)及等離子表面處理可選
 
l   可應(yīng)用在不同襯底:硅片、高分子材料、布疋、玻璃……
 
l   由研發(fā)用的單片式設(shè)備、量產(chǎn)型設(shè)備、 卷對卷以至集束型設(shè)備(Cluster Tool) 一應(yīng)俱全
 
l   良好的鍍膜均勻性
 
l   工藝參數(shù)自動記錄方便日后追蹤
 
l   全計算機自動化控制
 
l   **互鎖功能
 
l   所有部件使用著品牌子性能穩(wěn)定可靠
 
l   亦提供小批量代工生產(chǎn)及工藝研發(fā)
自設(shè)實驗室設(shè)有紅外傅立葉分析設(shè)備、橢偏儀、X射線成分分析及臺階儀等設(shè)備




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