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產(chǎn)品詳情
簡單介紹：
Gatan - 樣品預(yù)制系統(tǒng)
詳情介紹：
Center Frontier 是由計(jì)算機(jī)控制的單平臺全自動拋光的樣品預(yù)制系統(tǒng)，它包括對IC和磁頭樣品預(yù)制，應(yīng)用例如: SEM，TEM，SCM， SIMS ，正面delayering 及PEM，在硅片上，沖模和封裝時進(jìn)行截面和平行面的拋光處理。一前一后設(shè)計(jì)的一個帶CCD攝像頭的顯微鏡和放大倍率達(dá)到9000X的成像系統(tǒng)若結(jié)合**的亞微米拋光技術(shù)使用戶更容易達(dá)到目標(biāo)位置，更有清晰度及能更好地進(jìn)行制程監(jiān)控。使用計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)，能更好地利用現(xiàn)有的加工工序，發(fā)展新定義的工序，儲存圖像和測量數(shù)據(jù)，并能與其它部門或工作點(diǎn)進(jìn)行信息共享。**的成像處理，自動目標(biāo)獲取，邊緣檢測，Sagitta在線拋光眼模塊，及**的角度控制到-+/-0.1度（EAC）所有這些功能使設(shè)備的精度控制達(dá)到+/-0.1um。此外，為符合正面delayering 時要求之超高水平精度， 機(jī)臺X、Y軸準(zhǔn)確度可達(dá)0.003 度，進(jìn)行****的正面拋光能力。