產(chǎn)品目錄
- EVG 晶圓封裝工藝設(shè)備
- DELCOM薄膜電阻計
- FSM
- Schmitt 粗糙度測量儀
- MicroSense振動樣品磁強計
- MicroSense電容式位移傳感器
- Herzan
- Herz 防振臺 隔振臺
- Filmetrics光學(xué)膜厚測量儀
- 美國4D動態(tài)光學(xué)干涉儀
- Chaona 3D光學(xué)輪廓儀
- FEI 電子顯微鏡
- Imago 三維原子探針
- BrightSpot
- AEP
- BeneQ
- Bruker 能譜系統(tǒng)
- SNU
- WaveCatcher場地測量服務(wù)和工具
- 主軸跳動誤差分析儀 主軸運動誤差測試系統(tǒng) 主軸誤差分析儀
- MKS流量計
- MKS壓力計
- MKS殘余氣體分析儀
- MKS遠(yuǎn)程等離子體源
- SCI 等離子清洗設(shè)備
- Simax 步進式光刻機
- CERES
- CETR
- CleanLogix
- Dover
- Essemtec
- First Nano
- Gatan
- Honda Electronics
- Imago
- Invenious
- Kayex
- Laser Prismatics
- LESCO
- MAT
- mks
- n&K Technology
- nPoint
- Polyteknik
- ShB
- Solar Metrology
- SST
- Tailor
- Tau Science
- Thermo Noran
- VIC
- WestBond
- 其它
- 二手儀器及零件
聯(lián)系我們
中文網(wǎng)站：www.dymek.cn
上海分公司：
021-38613675/38613676
東莞分公司：
0769-89818868
北京分公司：
010-62615731/62615735
香港總公司：
00852-24153601
產(chǎn)品詳情
簡單介紹：
First Nano - MOCVD/ VPE 承座(susceptor)干式清洗設(shè)備
詳情介紹：
MOCVD/ VPE的石墨承座(susceptor)是LED行業(yè)重要的一環(huán), 本設(shè)備是一臺全自動以鹽酸氣體清洗承座上的III-V族膜層并可對其先進行預(yù)處理, 節(jié)省成本外還令工藝更穩(wěn)定, 滿足日趨嚴(yán)謹(jǐn)?shù)墓に囈蟆?/div>
**的重復(fù)性: 沒有濕式清洗由水氣等引致的工藝差異
濕式清洗會造成承座損傷, 干式清洗令承座有更長的壽命
一臺干式清洗設(shè)備足以支持五臺或更多的MOCVD/VPE設(shè)備
優(yōu)點:
*高工藝溫度可達(dá)1200°C并兼容氫氣及鹽酸氣體
**的重復(fù)性: 沒有濕式清洗由水氣等引致的工藝差異
濕式清洗會造成承座損傷, 干式清洗令承座有更長的壽命
一臺干式清洗設(shè)備足以支持五臺或更多的MOCVD/VPE設(shè)備
更佳的清洗質(zhì)量
全自動控制及**互鎖
高產(chǎn)能- 干式清洗只需兩小時, 比濕式清洗的二十四小時大大縮短, 另外不需要烘干水分, 大大節(jié)省時間與成本
