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產(chǎn)品詳情
簡(jiǎn)單介紹:
ETS-Lindgren防振及隔離系統(tǒng)是世界上*大的無線、電磁兼容性(EMC)、微波和聲學(xué)測(cè)量系統(tǒng)的綜合解決方案提供商.
詳情介紹:
ETS-Lindgren是世界上*大的無線、電磁兼容性(EMC)、微波和聲學(xué)測(cè)量系統(tǒng)的綜合解決方案提供商.


ETS-LINDGREN EMFC-QAC-3主動(dòng)消磁器技術(shù)參數(shù)


ETS-Lindgren防振及隔離系統(tǒng)
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ETS-Lindgren防振及隔離系統(tǒng)

產(chǎn)品特點(diǎn):
•當(dāng)今高精電子束設(shè)備(例如,掃描電鏡、透射電鏡)對(duì)環(huán)境磁場(chǎng)及其動(dòng)態(tài)變化是非常敏感的。環(huán)境磁場(chǎng)使電子束產(chǎn)生偏移,從而導(dǎo)致設(shè)備分辨率和測(cè)量精度的減低。
•主動(dòng)消磁系統(tǒng)EMFC-QDC-3 由磁場(chǎng)控制單元、一兩個(gè)交流或直流磁場(chǎng)傳感器以及裝在待消磁房間里的三根多芯電纜(三維空間線圈)組成,是一種三維的交直流磁場(chǎng)補(bǔ)償系統(tǒng)。
•傳感器測(cè)量空間環(huán)境中交直流磁場(chǎng)及其變化量,磁場(chǎng)控制單元以實(shí)時(shí)負(fù)反饋環(huán)路控制方式調(diào)節(jié)三個(gè)線圈中的電流來創(chuàng)建一個(gè)與環(huán)境磁場(chǎng)變化相反的磁場(chǎng)信號(hào),抵消環(huán)境磁場(chǎng)給電子束設(shè)備帶來的影響,恢復(fù)設(shè)備應(yīng)有的分辨率和精度。
•這是一個(gè)動(dòng)態(tài)系統(tǒng),對(duì)磁場(chǎng)躍變自動(dòng)響應(yīng)的速度在100微秒以內(nèi)。

ETS-LINDGREN EMFC-QAC-3主動(dòng)消磁器技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)品參數(shù):
•通過穩(wěn)定磁場(chǎng)環(huán)境確保您購置的電子束科技設(shè)備應(yīng)有性能
•消除和監(jiān)測(cè)交直流磁場(chǎng)
•簡(jiǎn)單的“一勞永逸”式操作,連續(xù)實(shí)時(shí)補(bǔ)償磁場(chǎng)
•磁場(chǎng)躍變響應(yīng)速度:100 μs以內(nèi)
•交流或直流磁場(chǎng)傳感器
•消磁器動(dòng)態(tài)工作范圍為(X & Y軸) 為<=40 mG (4 μT ) pk-pk, Z -軸為<=30mG (3.0μT) pk-pk
•交流磁場(chǎng)可消除范圍:1 mHz to 1 kHz;市電50 Hz(典型)的交流背景磁場(chǎng)可被改善75倍
•直流磁場(chǎng)可消除范圍:直流背景磁場(chǎng)可被改善200倍 2立方米體積*小的保護(hù)
•完整的X, Y, Z三軸消磁系統(tǒng)
•磁場(chǎng)衰減變化30 dB (factor of 32)-attenuation of magnetic field variation
•補(bǔ)償 3μTavg (30mGavg)
•電子噪音 1nTavg (10uGavg)
•消磁器顯示系統(tǒng)需為數(shù)字LCD顯示面板,其參數(shù)設(shè)定及操作皆可透過面板按鈕作控制及切換
•高靈敏度傳感器,可**反饋環(huán)境磁場(chǎng)變化;支持多路傳感器,用于抵消TEM透射電•鏡和CD關(guān)鍵尺寸電子束顯微在線檢測(cè)設(shè)備的環(huán)境磁場(chǎng)
•網(wǎng)絡(luò)監(jiān)控(選項(xiàng))

ETS-Lindgren防振及隔離系統(tǒng)
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