產(chǎn)品目錄
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產(chǎn)品詳情
簡單介紹：
基于電容式感技術(shù)**，MicroSense Probe 電容式位移傳感器提供高準確度，高帶寬測量精度電容式位移傳感器設(shè)備，為滿足客戶高準確度的應用要求,MicroSense 優(yōu)化傳感器的操作性能以達到高穩(wěn)定性和線性方案、高分辨率、高帶寬測量方案，用于測量硬盤驅(qū)動馬達，氣動軸承轉(zhuǎn)子，X-Y樣品臺**度，光盤，汽車零部件和機床等測量。
詳情介紹：
精密電容式位移傳感器
非接觸式高分辨率近距離位移測量
MicroSense 公司（前身是ADE Technologies, KLA_TENCOR的子公司）開創(chuàng)了高辨率電容式位移傳感器的先河，致力于為客戶提供以藝術(shù)級別性能的高精度非接觸式微位移傳感器。
MicroSense Probe 電容式位移傳感器特性
1.完全非接觸式電容式微位移測量—*準確的電子感應技術(shù), 無損樣品測量
2.*優(yōu)化的近距離測量—測量距離在10微米到5毫米
3.高準確性，高靈敏性測量，*高精度可達0.5nm。
4.可探測任何可傳導性、接地的測量目標—表面是否拋光以及材質(zhì)對測量準確度無任何影響
5.用途廣泛: 金屬薄片厚度測量,振動測量,工作臺垂直度(Straighness)和平坦度(flatness)測量,精密馬達轉(zhuǎn)軸偏振測量(Axial, Radial, Spindle runout),精密儀器工作平臺定 位，設(shè)備自動聚焦測量(微影設(shè)備，原子力顯微鏡，光罩探測，圖像確認，LCD生產(chǎn)設(shè)備…)
測量表（Gauge）型號
4800系列 8800系列 5800系列 6800系列 6360厚度測量系統(tǒng)
4800系列 以*優(yōu)化的線性和穩(wěn)定性著稱, 一款多功能測量設(shè)備
8800系列 以擁有*好的線性和穩(wěn)定性系統(tǒng)著稱，測量帶寬高達20K HZ,納米級分辨率，超低
噪聲**的伺服定位反饋系統(tǒng)設(shè)計
5800系列 以高動態(tài)測量著稱--高分辨率測量，可達100Khz 帶寬測量，可靠性測量甚至達觸
地物例如氣動轉(zhuǎn)子和馬達
6800系列 擁有皮米級別噪聲分辨率
Mini系列 迷你壓縮型傳感器測量系統(tǒng)
6360系列 非接觸式，高精度測量硅片、CD、DVD、光盤厚度
測量探頭(Probe)形狀
圓柱型測量探頭 45°傾角測量探頭 矩型測量探頭 直角型測量探頭
圓柱型測量探頭 探頭直徑0.5mm 到5mm 可選
45°傾角測量探頭 可緊貼圓柱形被測物測量
矩型測量探頭 測量馬達及軸向轉(zhuǎn)動物時可提供*大分辨率
直角型測量探頭 用于測量受限空間測量
設(shè)備應用
定位測量系統(tǒng)應用 遠程位置調(diào)節(jié)器的伺服反饋系統(tǒng)應用
間距和位移測量應用 空間測量及檢測 軸向位移測量
轉(zhuǎn)動測量系統(tǒng)應用 馬達精度和轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動測量 轉(zhuǎn)軸測量計精度校準測量 直線和平面平臺精
度測量
厚度測量系統(tǒng)應用 磁性介質(zhì)厚度測量 光盤厚度測量
自動聚焦和歸零測量應用 半導體硅片測量
振動測量系統(tǒng)應用 樣品臺精度振動測量 轉(zhuǎn)軸振動精度測量 主動性防震系統(tǒng)反饋測量
設(shè)備性能及主要參數(shù)
量程 ±25µm 到±1000µm滿量程測量
分辨率 優(yōu)于2 nm (r.m.s.) @ 1 kHz
帶寬 1 kHz, 5 kHz, 20 kHz, 100 kHz 可選
MicroSense電容式位移傳感器
MicroSense電容式位移傳感器
MicroSense Probe 電容式位移傳感器
MicroSense Probe 電容式位移傳感器
MicroSense Probe 電容式位移傳感器
MicroSense Probe 電容式位移傳感器
MicroSense Probe 電容式位移傳感器
MicroSense Probe 電容式位移傳感器