在半導(dǎo)體、液晶面板制造等高精度行業(yè)中，靜電消除器（離子棒）是維持潔凈室環(huán)境的核心設(shè)備。然而，傳統(tǒng)離子棒存在一個(gè)長期被忽視的隱患：高速氣流引發(fā)的湍流會導(dǎo)致顆粒物二次飛揚(yáng)，甚至因放電針**電化學(xué)反應(yīng)生成硝酸an結(jié)晶（Fuzzy Ball），污染潔凈環(huán)境。Dongil Technology（DIT）通過空氣動(dòng)力學(xué)噴嘴設(shè)計(jì)，重新定義了離子棒的減排性能，為微污染控制提供了新范式。

一、問題溯源：傳統(tǒng)離子棒的氣流設(shè)計(jì)缺陷

1. 湍流與顆粒物擴(kuò)散的惡性循環(huán)

• 傳統(tǒng)離子棒的圓柱形噴嘴結(jié)構(gòu)會擾亂氣流，形成局部渦流（如圖1），導(dǎo)致已沉降的微顆粒（0.3–5μm）重新懸浮。
• 實(shí)驗(yàn)表明（文檔2），湍流區(qū)顆粒物濃度可達(dá)層流區(qū)的3倍以上。

2. Fuzzy Ball的生成機(jī)制

• 高壓放電使空氣中的氮氧離子在針尖處結(jié)合，形成NH?NO?結(jié)晶（Fuzzy Ball）。
• 顯微鏡觀測顯示（文檔2），傳統(tǒng)離子棒運(yùn)行4周后，針尖附著結(jié)晶量達(dá)200μg/cm2，脫落風(fēng)險(xiǎn)極高。

注：DIT實(shí)驗(yàn)室氣流可視化模擬（文檔1）

二、技術(shù)突破：空氣動(dòng)力學(xué)噴嘴的設(shè)計(jì)哲學(xué)

1. 層流導(dǎo)向的曲面結(jié)構(gòu)

DIT的ASG系列離子棒（文檔1）采用漸縮-漸擴(kuò)曲面噴嘴（**號KR102022000XXX），實(shí)現(xiàn)三大**：

• 氣流加速區(qū)：入口15°收縮角加速氣流，減少邊界層分離。
• 層流穩(wěn)定區(qū)：中部拋物曲面維持氣流線性運(yùn)動(dòng)，形成“空氣刀”效應(yīng)。
• 離子包裹效應(yīng)：出口擴(kuò)散角控制離子擴(kuò)散范圍，避免氣流散射。

2. 減排性能的量化驗(yàn)證

數(shù)據(jù)來源：文檔2實(shí)驗(yàn)室測試（ISO 14644-1 Class 5環(huán)境）

三、核心價(jià)值：從減排到可持續(xù)運(yùn)營

1. 潔凈室能耗的隱性降低

• CDA（潔凈干燥空氣）消耗減少50%：
  傳統(tǒng)噴嘴需5L/min/發(fā)射器（0.1MPa）維持離子覆蓋，DIT設(shè)計(jì)僅需2L/min（文檔1），年省氮?dú)獬杀鞠喈?dāng)于20噸CO?減排量。
• 風(fēng)量需求降低：層流設(shè)計(jì)允許FFU（風(fēng)機(jī)過濾單元）降速運(yùn)行，功耗下降15–20%。

2. 維護(hù)周期延長

• 6個(gè)月免維護(hù)運(yùn)行（文檔2）：
  某半導(dǎo)體客戶產(chǎn)線實(shí)測顯示，DIT離子棒在連續(xù)運(yùn)行6個(gè)月后，仍保持：
  • 離子平衡偏差≤±30V（SEMI E129標(biāo)準(zhǔn)要求±50V）
  • 衰變時(shí)間穩(wěn)定在1.2秒（初始值1.0秒）
• 發(fā)射針壽命提升2倍：曲面氣流減少顆粒碰撞，針尖侵蝕速率降低60%。

四、行業(yè)應(yīng)用：從半導(dǎo)體到生物醫(yī)藥的多場景驗(yàn)證

1. 半導(dǎo)體晶圓光刻區(qū)（某韓國IDM企業(yè)）

• 挑戰(zhàn)：ArF激光光刻機(jī)對0.1μm顆粒的零容忍。
• 方案：ASG-AFU系列超近距離離子棒（文檔1），偏移電壓控制在±5V內(nèi)。
• 成果：晶圓缺陷率下降40%，光掩模版清洗周期延長至8周。

2. 醫(yī)療設(shè)備無菌灌裝線（歐洲制藥企業(yè)）

• 挑戰(zhàn)：生物制劑灌裝時(shí)靜電吸附微生物風(fēng)險(xiǎn)。
• 方案：AMB-LS系列層流離子棒（文檔4），臭氧濃度<0.005ppm（FDA限值0.05ppm）。
• 成果：灌裝合格率提升至99.98%，通過FDA 21 CFR Part 11審計(jì)。