超純水是美國科技界為了研制超純材料(半導體原件材料、納米精細陶瓷材料等)應用蒸餾、去離子化、反滲透技術(shù)或其它適當?shù)某R界精細技術(shù)生產(chǎn)出來的水，這種水中除了水分子(H20)外，幾乎沒有什么雜質(zhì)，更沒有**、病毒、含氯二惡英等有機物，當然也沒有人體所需的礦物質(zhì)微量元素，超純水無硬度，口感較甜，又常稱為軟水，可直接飲用，也可煮沸飲用。
超純水,是一般工藝很難達到的程度，如水的電阻率大于18MΩ*cm（沒有明顯界線），則稱為超純水。水質(zhì)純化可分為:蒸餾法、離子交換法、活性碳吸附法、微孔過濾法、超過濾法、紫外線照射法、電滲析法（EDI）和反滲透法（RO）等等。
離子交換法，即是以圓球形樹脂（離子交換樹脂）過濾原水，水中的離子會與固定在樹脂上的離子交換，常見的兩種離子交換方法分別是硬水軟化和去離子法。
硬水軟化主要是用在反滲透（RO）處理之前，先將水質(zhì)硬度降低的一種前處理程序。
活性碳吸附法，利用活性碳過濾器的孔隙大小及有機物通過孔隙時的滲透除去非離子性的有機物，一般將活性碳過濾器安裝在離子交換樹脂之前。
微孔過濾法，一般被置于純化系統(tǒng)中的終使用點，以去除后殘留的微量樹脂碎片、碳屑、膠質(zhì)顆粒和微生物。
反滲透（RO）法是可達到90%-99%雜質(zhì)去除率中經(jīng)濟的方法，通常用于過濾除直徑小于1nm的污染物。而純水的水質(zhì)監(jiān)測中，關鍵指標有：電導率/電阻K、總有機碳水平、PH值、熱源水平、微生物含量等。

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