這是通過在樣品氣體進(jìn)入離子室之前首先減少它的壓力而實(shí)現(xiàn)的。正如流導(dǎo)限制型離子源（詳見上文介紹），樣品氣體被限制在一個相對較小的離子室中，燈絲在離子室的外面。差別在于封閉離子源的氣體在進(jìn)入到離子室之前壓力首先從CVD（或其他高壓方面的應(yīng)用）的高壓被降低到大約10-5 Torr 。因?yàn)樵谶@一較低壓力下氣體密度就會較小，這樣一來當(dāng)取反應(yīng)性氣體樣品時就能大大減少分子離子反應(yīng)了。這樣就保持了樣品氣體的*原始的特性和排除了引入新的不屬于樣品氣體的氣體種類的可能性。 封閉離子源RGA 具備了增強(qiáng)的靈敏度，降低的體系壓力背景噪聲，PPB水平的檢測能力。 封閉離子源的另外的特點(diǎn)包括： 傳感器室中背景氣體對分析信號的*小程度的污染 離子體積外的燈絲排除本底信號 抽取式的離子體積方便清洗 兩根涂釷的銥燈絲 可簡便替換的燈絲 從傳感器真空室的進(jìn)口到離子體積連接簡單