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產(chǎn)品資料

Dycor DyMaxion 流導(dǎo)限制型氣體分析儀

Dycor DyMaxion 流導(dǎo)限制型氣體分析儀
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  • 產(chǎn)品名稱(chēng):Dycor DyMaxion 流導(dǎo)限制型氣體分析儀
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簡(jiǎn)單介紹
Dycor DyMaxion 流導(dǎo)限制型氣體分析儀 Dycor流導(dǎo)限制型離子源氣體分析儀是專(zhuān)門(mén)為半導(dǎo)體和薄膜制造過(guò)程監(jiān)測(cè)而設(shè)計(jì)的,體系壓力為毫托范圍。
產(chǎn)品描述
Dycor DyMaxion 流導(dǎo)限制型氣體分析儀
Dycor流導(dǎo)限制型離子源氣體分析儀是專(zhuān)門(mén)為半導(dǎo)體和薄膜制造過(guò)程監(jiān)測(cè)而設(shè)計(jì)的,體系壓力為毫托范圍。

DymaxionPVD
Dycor DyMaxion 流導(dǎo)限制型氣體分析儀

 
概述

對(duì)離子發(fā)生器的設(shè)計(jì),可以得到增強(qiáng)的靈敏度和下降的背景噪聲。當(dāng)一個(gè)流導(dǎo)限制型離子源在樣本壓力達(dá)到10-3 torr時(shí)可以運(yùn)行,不需要分析抽氣的進(jìn)樣系統(tǒng)進(jìn)一步減少壓力。越高的樣本壓力下有更多的中子,有更多的樣氣會(huì)離子化。壓力每增大一個(gè)數(shù)量級(jí),信號(hào)強(qiáng)度和樣本濃度成比例地變化。這是通過(guò)限制樣本氣體在一個(gè)(相對(duì))小的離子室內(nèi)而實(shí)現(xiàn)的。樣本氣體被限制在離子室內(nèi),該離子室的兩邊有兩個(gè)裂縫,轟擊電子通過(guò)這些裂縫進(jìn)入,進(jìn)而使樣品氣體離子化。在靠近離子室的小的出口形成的離子立即被吸至質(zhì)量過(guò)濾器,幾乎沒(méi)有機(jī)會(huì)和中子反應(yīng)。離子化效率很高,因?yàn)閷?shí)際上所有的樣本氣體都經(jīng)過(guò)小的離子化地帶。從離子源到下游的質(zhì)量過(guò)濾器的主要的傳送機(jī)制是由離子發(fā)生器中的相對(duì)高壓與下游質(zhì)量過(guò)濾器中的相對(duì)低壓產(chǎn)生的一個(gè)壓力梯度。因此,離子源是由于壓力的不同而引起的流導(dǎo)限制。

流導(dǎo)限制式離子源的其他特點(diǎn)包括:
傳感器室中背景氣體對(duì)分析信號(hào)的*小程度的污染
離子室外的燈絲排除本底信號(hào)
可拆卸的離子室方便清洗
兩根涂釷的銥燈絲
可簡(jiǎn)便替換的燈絲
從傳感器真空室進(jìn)口到離子室連接簡(jiǎn)單
流導(dǎo)限制式離子源具備了增強(qiáng)的靈敏度,降低的體系壓力背景噪聲,和PPB 水平的檢測(cè)能力。 
 

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