測微計，探規(guī)，測微頭，筆測頭，線性測微計 * 高精度光柵式測微儀
支持自動化儀表及* 用量具的配套使用
Laser Hologage (激光全息測微計)
LGH 542 系列 — 0.00001mm 分辨率型
產品簡介：
三豐的LaserHologage激光全息測微計0.00001mm是一種* 數(shù)顯測量系統(tǒng)，采用衍射光束干涉，進行高精度和高重復精度測量，它具有* 細衍射光柵，將全息影像記錄在刻度尺上。LaserHologage適于測量精度極高的工件，特別適于半導體等行業(yè)使用。 特點: 1.三豐公司的激光全息測微儀是一種* 數(shù)顯測量系統(tǒng)，采用激光衍射測長原理，進行高精度和高重復精度測量。 2.緊湊型測頭降低了每個裝置組裝激光光柵尺所需的成本。測頭也有助于縮小整個系統(tǒng)的尺寸。本測微儀是測量儀器或控制裝置長度測量傳感器，也是高精密部件測量的zui好選擇。 3.由于具有 0.00001mm ( 0.01μm ) 的極高分辨力適于進行高精度測量，其性能接近激光干涉儀。 4.具有極高的測量穩(wěn)定性——高防護性設計，適于在惡劣的環(huán)境下工作，如溫度和氣壓變化的環(huán)境。 5.低測力型也可用。低測力型可用于易變形的精密工件。 6.高可靠性和優(yōu)良耐用性測桿導軌使用高精度線性滾珠軸承以獲得非常平滑的運動效果和* 長耐用性。 7.分辨力為 0.01μm 的 LGH 與 EH-102S 計數(shù)器一起使用
技術參數(shù) 精度: 參見性能參數(shù) ( 不包括量化偏差 ) 分辨率: 0.01μm 長度基準: 激光全息測量傳感器 反應速度: 250mm/s 測針: R5mm 硬質合金 軸套: ?15mm 軸承類型: 高精度線性滾珠軸承 測力: 參見性能參數(shù) 輸出信號:90度相位差,差動方形波 信號間距:0.25μm
標準附件 538610:帶扳手的測頭
選件 ?激光全息測微儀臺架: No.971750 ?用于上表面固定的裝夾套筒固定裝置: No.971751 ?用于下表面固定的裝夾套筒固定裝置: No.971752 ?測桿提升線纜: No.971753 ?塑料橡膠套管: No.238772 (備用)
性能參數(shù):
貨號
542-925*
542-927*
542-926*
542-928*
配置
單軸測微儀和
顯示裝置套裝
雙軸測微儀和
測量范圍
10mm
測量精度 ( 20oC )
0.1μm*1
重復性
0.02μm
回程誤差
0.05μm
測力
測桿朝上
約 0.35N 以下
約 0.1N
測桿水平
約 0.45N 以下
—
測桿朝下
約 0.55N 以下
測頭
?3mm 硬質合金 ( 固定螺絲 : M2.5 ( P=0.45 ) × 5 ) , 標準測頭 No.120058
輸出電纜長度
2m
顯示范圍
±999.99999mm
zui小讀數(shù)
0.01μm
運行溫度 ( 濕度 ) 范圍
10 - 30oC ( RH 30 - 70%, 無冷凝)
存儲溫度 ( 濕度 ) 范圍
–10 - 50oC ( RH 30 - 70%, 無冷凝 ) 拆開包裝后存放的溫度和濕度條件和操作時的條件相同
標準附件
測頭* 用扳手 : No.538610
AC 適配器 : No.02ADN460
AC 電纜 ( 日本 ) : No.02ZAA000*
AC 電纜 ( 美國 ) : No.02ZAA010*
AC 電纜 ( 歐盟 ) : No.02ZAA020*
AC 電纜 ( 英國 ) : No.02ZAA030*
AC 電纜 ( 中國 )) : No.02ZAA040*
AC 電纜 ( 韓國 ) : No.02ZAA050*
重量 ( 測微儀 + 顯示裝置)
1400g
*1: 使用計數(shù)器時使用的指示精度值、
* 為區(qū)分交流電源電纜，在貨號后加上以下后綴： A 適于UL/CSA ， D適于CEE ， DC 適于 CCC ，E適于 BS ，K 適于 KC ，C和無后綴適于PSE 。
尺寸：
單位：mm