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圓光柵的刻劃和復(fù)制!!
 圓光柵的刻劃和復(fù)制
刻劃
　　我們刻劃圓光柵一直采用接觸復(fù)印法。所謂接觸復(fù)印法，就是圓光柵的刻線，不是通過光學(xué)成象鏡頭縮微光刻所得，而是由模板與涂有感光膠膜的工件直接接觸曝光潛影顯象所得。這樣刻制的圓光柵線紋質(zhì)量好、效率高，同時(shí)也能提高制造圓光柵的精度。接觸復(fù)印法制造圓光柵是在圓刻度機(jī)上進(jìn)行的，圓光柵刻劃機(jī) 是由圓刻度機(jī)改裝而成。取掉圓刻度機(jī)原來的刻劃刀架，在其刀橋上安裝一個(gè)光刻刀架。光刻刀架由光源(脈沖氛燈) 、柱面鏡和裝有單線或扇形模板抬落的“小船”組成。
接觸復(fù)印法制造圓光柵，大體分為兩步：
　　1 ) 扇形模板的制備 在鍍有鋁膜的薄平板玻璃（一 般采用光譜干板）上，用鉆石刀、寶石刀或者金屬刀刻劃出一條殼線，稱為單線。它的寬度取決于圓光柵的刻線寬、周期和圓刻機(jī)的* 小分度。
　　圓光柵的刻線呈扇形，而不是一個(gè)矩形。 所以，一般線寬在0。01毫米左右時(shí)，單線取光柵線寬的一半。為了保證光柵刻線的扇形性和易于刻出理想的單線，當(dāng)光柵刻線較寬時(shí)，單線就更細(xì)些。
　　將選用的單線裝于光刻刀架的“ 小船 ” 上，按要求調(diào)整好直徑、偏心和水平，并調(diào)好圓刻度機(jī)的進(jìn)給量場進(jìn)光刻扇形。扇形的寬窄視圓光柵刻線的中徑而定，一般60進(jìn)制的小光柵盤的扇形寬度選為1°，大光柵盤的扇形寬度選為1°/ 2，即用這樣的扇形模板刻制整個(gè)光柵盤時(shí)，圓刻度機(jī)只需進(jìn)給、曝光360次或720次。 也就是在光照均勻的前提下，盡量把扇形做得大些，以便刻制光柵盤時(shí)時(shí)間短，這樣才能既效率高又保證刻劃精度。光刻出的扇形刻線是黑線亮背景，不能做為模板使用，必須將其復(fù)制成刻線四周不透光的扇形模板。扇形模板用蟲膠或者 光刻膠復(fù)制，復(fù)制得到的鉻扇形模板在多次接觸光刻光柵盤時(shí)比較耐磨損，經(jīng)得起使用。
　　2) 圓光柵盤的刻制 將經(jīng)過檢驗(yàn)合格的扇形模板裝在光刻刀架的“ 小船 ” 上，調(diào)整好偏心、水平，使圓刻度機(jī)的每次進(jìn)給轉(zhuǎn)角正好等于扇形模板所包含的角度，進(jìn) 行試刻。當(dāng)試刻出的圓光柵在每一個(gè)扇形模板相接處的刻線寬與其他處 一樣時(shí)，即是扇形模板的直徑已調(diào)好。而后通過直觀法把試刻得到的兩段圓光柵迭加，將莫爾條紋調(diào)整到合適的寬度。看其是否突變。 若條紋均勻，反差強(qiáng)，光滑無突起則為調(diào)整好了。

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