接觸復(fù)印法制造圓光柵,大體分為兩步:
    1 ) 扇形模板的制備 在鍍有鋁膜的薄平板玻璃(一 般采用光譜干板)上,用鉆石刀、寶石刀或者金屬刀刻劃出一條殼線,稱為單線。它的寬度取決于圓光柵的刻線寬、周期和圓刻機(jī)的*
小分度。
    圓光柵的刻線呈扇形,而不是一個矩形。 所以,一般線寬在0。01毫米左右時,單線取光柵線寬的一半。為了保證光柵刻線的扇形性和易于刻出理想的單線,當(dāng)光柵刻線較寬時,單線就更細(xì)些。
    將選用 的單線裝于光刻刀架的“ 小船 ” 上,按要求調(diào)整好直徑、偏心和水平,并調(diào)好圓刻度機(jī)的進(jìn)給量場進(jìn)光刻扇形。扇形的寬窄視圓光柵刻線的中徑而定,一般60進(jìn)制的小光柵盤的扇形寬度選為1°,大光柵盤的扇形寬度選為1°/ 2,即用這樣的扇形模板刻制整個光柵盤時,圓刻度機(jī)只需進(jìn)給、曝光360次或720次。 也就是在光照均勻的前提下,盡量把扇形做得大些,以便刻制光柵盤時時間短,這樣才能既效率高又保證刻劃精度。光刻出的扇形刻線是黑線亮背景,不能做為模板使用,必須將其復(fù)制成刻線四周不透光的扇形模板。扇形模板用蟲膠或者 光刻膠復(fù)制,復(fù)制得到的鉻扇形模板在多次接觸光刻光柵盤時比較耐磨損,經(jīng)得起使用。
    2) 圓光柵盤的刻制 將經(jīng)過檢驗合格的扇形模板裝在光刻刀架的“ 小船 ” 上,調(diào)整好偏心、水平,使圓刻度機(jī)的每次進(jìn)給轉(zhuǎn)角正好等于扇形模板所包含的角度,進(jìn) 行試刻。當(dāng)試刻出的圓光柵在每一個扇形模板相接處的刻線寬與其他處 一樣時,即是扇形模板的直徑已調(diào)好。而后通過直觀法把試刻得到的兩段圓光柵迭加,將莫爾條紋調(diào)整到合適的寬度??雌涫欠裢蛔儭?若條紋均勻,反差強(qiáng),光滑無突起則為調(diào)整好了。
    將涂有火棉膠感光膜的圓光柵工件置于圓刻度機(jī)的工作臺上,調(diào)整工件對圓刻度機(jī)旋轉(zhuǎn)中心的偏心和水平,開啟閃光燈電源,待閃光和工件穩(wěn)定一段時間后,就可進(jìn)行接觸復(fù)印光刻圓光柵。
    經(jīng)過曝光復(fù)印的工件。需潛象處理 ( 即顯影 、 定影 ) 才能得 到所要求圖象的圓光柵,若發(fā)現(xiàn)線紋不夠黑或黑 白比沒有達(dá)到要求時,還可 以進(jìn)行**次顯影 (一般稱為加厚) ??讨圃?
微粒干板或火棉膠層上的圓光柵,因是 有底層的 ,其牢固度較差,經(jīng)不起摩擦,并且均勻性也差。
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