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技術(shù)文章

二氧化硅納米微球的規(guī)格和運(yùn)用介紹
二氧化硅納米顆粒
產(chǎn)品規(guī)格和運(yùn)用介紹：
       二氧化硅納米顆粒是顆粒尺寸標(biāo)準(zhǔn)和球形。硅微珠高度準(zhǔn)確，單分散，NIST*追蹤，尺寸標(biāo)準(zhǔn)，*從40納米到2微米（2000納米）。從40nm到102nm的二氧化硅顆粒懸浮在乙醇中以保持單分散性，而從105nm到2000nm的二氧化硅顆粒懸浮在15ml的去離子水溶液中。二氧化硅顆粒的折射率非常接近聚苯乙烯乳膠球，這使得二氧化硅顆粒*用于晶圓檢測(cè)系統(tǒng)、TEMs和SEMs（使用高功率激光）的尺寸校準(zhǔn)。二氧化硅粒徑標(biāo)準(zhǔn)用于輸送和生產(chǎn)硅片校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)和硅片污染標(biāo)準(zhǔn)。
      二氧化硅微球也*以5克和10克的增量，或在工業(yè)要求的任何體積。晶圓檢驗(yàn)系統(tǒng)，SSIS，如KLA Tencor SP1、KLA Tencor SP2、TopCon、ADE和日立晶圓檢驗(yàn)系統(tǒng)*以使用二氧化硅顆粒進(jìn)行尺寸校準(zhǔn)。硅納米球的粒徑為40納米至2微米，用于校準(zhǔn)相應(yīng)晶圓檢測(cè)系統(tǒng)和激光粒子計(jì)數(shù)器的粒徑響應(yīng)曲線。提供波特蘭水泥、CMP泥漿、遞送的行業(yè)使用30nm至2微米的二氧化硅顆粒。二氧化硅微球被生長(zhǎng)成確且*重復(fù)的大小峰。二氧化硅納米顆粒是球形的，并且是按照特*的直徑人工制造的，與大多數(shù)其他工藝顆粒一樣，二氧化硅納米顆粒是非球形的，并且大小不均勻。
1、*重復(fù)，逐批，二氧化硅粒徑
2、微珠用于**遞送
3、二氧化硅納米顆粒設(shè)計(jì)為球形，尺寸均勻
4、典型小于3%的峰值尺寸分布寬度大于100nm
5、40nm至2um尺寸，含15ml去離子水和10%二氧化硅濃度
6、40nm至30um的尺寸，以1Kg的干二氧化硅納米顆粒增量提供
7、超高純度，99.997%
8、二氧化硅的折射率（n=1.46），非常接近聚苯乙烯乳膠（n=1.585）@633nm激光波長(zhǎng)
9、二氧化硅和PSL球體之間的校準(zhǔn)曲線很舒適，允許高精度的二氧化硅尺寸校準(zhǔn)

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