新品晶圓表面用二氧化硅SiO2標(biāo)準(zhǔn)粒子的介紹
產(chǎn)品名稱：
SiO2微粒子標(biāo)準(zhǔn)溶液
納米級別二氧化硅
SiO2標(biāo)準(zhǔn)粒子
晶圓表面用二氧化硅
納米二氧化硅?尺寸標(biāo)準(zhǔn)
MSP Corporation 的 NanoSilica?Size Standards 是 SiO2顆粒的濃縮水懸浮液，具有高度均勻的尺寸分布。
這些粒徑標(biāo)準(zhǔn)目前提供的標(biāo)稱尺寸范圍為 15 至 200 nm，非常適合為下一代晶圓和光掩模檢測系統(tǒng)生產(chǎn)高質(zhì)量校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)。
雖然 MSP 23000NPT 系列和 2300G3 系列粒子沉積系統(tǒng)為表面缺陷校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)的生產(chǎn)提供了*佳結(jié)果，但較舊的 MSP 系統(tǒng)和其他制造商的系統(tǒng)也適用于納米二氧化硅尺寸標(biāo)準(zhǔn)。
特征
+ 極其均勻的尺寸分布
我們的納米二氧化硅尺寸標(biāo)準(zhǔn)采用獲得**的 SiO2合成工藝開發(fā)，其尺寸分布比市售的 PSL 球更窄。
+ 使用 SI *追溯性測量的峰直徑
允許產(chǎn)量提高和計量小組根據(jù) ISO 9000 標(biāo)準(zhǔn)和 SEMI 指南建立其檢查和缺陷審查方法的*追溯性。
+ 受到強(qiáng)烈 DUV 輻射時穩(wěn)*
MSP 的 SiO2顆粒在暴露于 DUV 輻射時不會降解，這與 PSL 球體不同，PSL 球體的尺寸會減小。
+ 易于使用
NanoSilica 顆粒懸浮液在滴管瓶中提供，以便在您的應(yīng)用中混合具有適當(dāng)數(shù)量濃度的懸浮液時使用方便。
+ 高粒子濃度
一些應(yīng)用需要高濃度。 MSP 的顆粒濃度是業(yè)內(nèi)*高的之一。
+ 輕松辨別模態(tài)（峰值）直徑
+ 避免由于平均和峰值直徑值之間的差異而導(dǎo)致的差異
+ 制備適用于效率相對較高或較低的氣溶膠產(chǎn)生裝置的稀釋懸浮液
+ 為***的檢測工具創(chuàng)建持久的校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)
+ 消耗更少的材料；存錢
+ 隨附校準(zhǔn)和*追溯性證書以及帶有處理和處置說明的**數(shù)據(jù)表 (SDS)
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型號
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目錄編號
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標(biāo)稱粒徑 [nm]
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認(rèn)證1峰值直徑 [nm]
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大約
Size Dist. Width, RFWHM2
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1044
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NS-0015A
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15
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14-16
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13%
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1046
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NS-0018A
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18
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17-19
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12%
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1047
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NS-0020A
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20
|
19-21
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11%
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1048
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NS-0024A
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24
|
23-25
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10%
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1075
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NS-0027A
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27
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26-28
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9%
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1049
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NS-0030A
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30
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29-31
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8%
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1079
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NS-0032A
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32
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31-33
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7%
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1062
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NS-0035A
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35
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34-36
|
7%
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1076
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NS-0037A
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37
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36-38
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6%
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1051
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NS-0040A
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40
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39-41
|
6%
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1063
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NS-0045A
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45
|
44-46
|
5%
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1052
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NS-0050A
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50
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49-51
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5%
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1077
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NS-0055A
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55
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53-57
|
5%
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1053
|
NS-0060A
|
60
|
58-62
|
4%
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1067
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NS-0064A
|
64
|
62-66
|
4%
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1054
|
NS-0070A
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70
|
68-72
|
4%
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1068
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NS-0074A
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74
|
72-76
|
4%
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1055
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NS-0080A
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80
|
78-82
|
4%
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1069
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NS-0084A
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84
|
82-86
|
4%
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1057
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NS-0090A
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90
|
88-92
|
4%
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1070
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NS-0094A
|
94
|
92-96
|
4%
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1058
|
NS-0100A
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100
|
98-102
|
4%
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1071
|
NS-0104A
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104
|
102-106
|
4%
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1059
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NS-0125A
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125
|
120-130
|
4%
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1060
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NS-0150A
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150
|
145-155
|
4%
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1061
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NS-0200A
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200
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190-210
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4%
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1給*目錄號的認(rèn)證直徑將在規(guī)*范圍內(nèi)提供。
2相對半高寬（半高全寬）； FWHM 除以模態(tài)直徑。
規(guī)格
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粒子組成
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無*形SiO2
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粒子密度
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1.9 克/厘米3
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折射率
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633納米時為1.41英寸
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體積
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5 毫升
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專注
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每毫升 1013至 1015顆粒
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截止日期
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≥ 24 個月
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添加劑
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乙醇（按質(zhì)量計 5-20%）
有機(jī)穩(wěn)*劑（<0.1% 質(zhì)量）
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儲存和處理
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在室溫下儲存（參見校準(zhǔn)和*追溯性證書
更多詳情。
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NanoSilica? 微粒子標(biāo)準(zhǔn)溶液是由MSP Corporation制作的高度均勻尺寸SiO2微粒子濃縮水溶液，微粒子尺寸從18nm到200nm都*選擇，是市面上***、高質(zhì)量的校正標(biāo)準(zhǔn)，適用于*新一代的晶圓表面污染/缺陷檢查系統(tǒng)及光罩檢查系統(tǒng)。
***的半導(dǎo)體檢查技術(shù)已經(jīng)發(fā)展到小于30nm，以往使用Polystyrene latex (PSL)球形化粒子即*做晶圓表面污染/缺陷檢查系統(tǒng)及光罩檢查系統(tǒng)的校正，但新一代的檢查系統(tǒng)使用到Deep ultraviolet (DUV) or Extreme ultraviolet (EUV)才能檢查小于20nm的污染或缺陷，當(dāng)UV光重復(fù)打在PSL球形化粒子上，將影響到PSL球形化粒子的質(zhì)量; 由于SiO2微粒子在DUV及EUV的照射下?lián)碛蟹€(wěn)*的質(zhì)量，因此SiO2微粒子是*佳的替代產(chǎn)品。
NanoSilica? 微粒子標(biāo)準(zhǔn)溶液是使用有**的SiO2合成技術(shù)，*以做到如PSL球形化粒子一樣的尺寸分布，從目前*小的微粒子尺寸來看，NanoSilica? 微粒子標(biāo)準(zhǔn)溶液是尺寸*均勻，適合做尺寸大小峰值的量測的工具。
NIST-traceable NanoSilica? 微粒子標(biāo)準(zhǔn)溶液是MSP Corporation透過National Institute of Standards and Technology (NIST)追溯到標(biāo)準(zhǔn)單位的產(chǎn)品，加上ISO 9000與SEMI的認(rèn)證，讓良率提升及表面檢查和缺陷評估有所依據(jù)。
NanoSilica? 微粒子標(biāo)準(zhǔn)溶液使用15-mL滴*，讓使用者操作更方便。每一瓶溶液的卷標(biāo)皆標(biāo)示產(chǎn)品編號、生產(chǎn)編號、微粒子尺寸峰值、尺寸分布半高寬及有效期限，而且提供NIST-traceable證明書與Material Safety Data Sheet (MSDS)說明書。
產(chǎn)品優(yōu)勢
?尺寸大小分布均勻
?NIST traceability 的尺寸大小
?DUV及EUV的照射下?lián)碛蟹€(wěn)*的質(zhì)量
?高濃縮度微粒子懸浮溶液
產(chǎn)品效益
?易于微粒子撒粒系統(tǒng)、晶圓表面污染/缺陷檢查系統(tǒng)或各類分析儀器偵測與量測尺寸峰值
?*避免平均尺寸與尺寸峰值的差異性
?適合氣膠產(chǎn)生設(shè)備使用
?提供耐久校正標(biāo)準(zhǔn)給先進(jìn)的檢測設(shè)備使用
?省錢而且耗用量少
