| 型號 | EV-2515 | EV-3020 | EV-4030 |
| (x/y/z) 量測行程 | 250*150*150mm | 300*200*200mm | 400*300*250mm |
| 外型尺寸(長寬高) | 100*60*140cm | 120*72*160cm | 120*72*160cm |
| 機(jī)身重量 | 170kg | 280kg | 410kg |
| 重復(fù)性 | 2um | ||
| 機(jī)臺承重量 | 30kg | ||
| 操作方式 | 手動(dòng) | ||
| 測量分辨率 | 0.001mm | ||
| x/y/z軸測量精度 | (3+l/200)um | ||
| 光源系統(tǒng) | 全電腦程控,USB控制四路上光源,直軸可調(diào)下光源 | ||
| 平臺結(jié)構(gòu) | 00級花崗石機(jī)臺及立柱 | ||
| 精密測頭(選配) | 英國Renishaw高精度接觸式精密測頭 | ||
| 鏡頭 | 超底變形,多段倍率遠(yuǎn)心光學(xué)設(shè)計(jì)鏡頭(Telecetric lens) | ||
| 放大倍率 | 光學(xué)放大倍率0.7-4.5x,影像放大倍率20x-125x | ||
| 標(biāo)準(zhǔn)電腦配置 | C4/2.4G/256M內(nèi)存/40G硬盤17"寸CRT顯示器 | ||
| 影像系統(tǒng) | Easson高度析度CCD影像頭(1/2"SONY CCD Sensor)及支專用DSP | ||