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進口表面粗糙度儀的進展

進口表面粗糙度儀表面形貌評定的核心在于特征信號的無失真提取和對使用性能的量化評定,國內(nèi)外學(xué)者在這一方面做了大量工作,提出了許多分離與重構(gòu)方法。隨著當(dāng)今微機處理技術(shù)、集成電路技術(shù)、機電一體化技術(shù)等的發(fā)展,出現(xiàn)了用分形法、Motif法、功能參數(shù)集法、時間序列技術(shù)分析法、*小二乘多項式擬合法、濾波法等各種評定理論與方法,取得了顯著進展,下面對相對而言比較成熟的分形法、Motif法、特定功能參數(shù)集法進行介紹。 
分形幾何理論 
*近,國內(nèi)外在表征和研究機加工表面的微觀結(jié)構(gòu)、接觸機理和表面粗糙度等方面越來越多地使用分形幾何理論這一有力的數(shù)學(xué)工具。研究表明,很多種機加工表面呈現(xiàn)出隨機性、多尺度性和自仿射性,即具有分形的基本特征,因而使用分形幾何來研究表面形貌將是合理地、有效地。確定分形的重要參數(shù)有分形維數(shù)D和特征長度A,它們可以衡量機加工表面輪廓的不規(guī)則性,理論上不隨取樣長度變化和儀器分辨率變化,并能反映表面形貌本質(zhì)的 表面粗糙度儀 特征,能夠提供傳統(tǒng)的表面粗糙度評定參數(shù)如Ra、Ry、Rz等所不能提供的信息。美國TopoMetrix公司生產(chǎn)的掃描探針顯微鏡SPM軟件體系中,已將分形維數(shù)作為評價表面微觀形貌的參數(shù)之一。 
機械加工表面分形維數(shù)表達了表面所具有的復(fù)雜結(jié)構(gòu)的多少以及這些結(jié)構(gòu)的微細程度,微細結(jié)構(gòu)在整個表面中所占能量的相對大小。分形維數(shù)越大,表面中非規(guī)則的結(jié)構(gòu)就越多,并且結(jié)構(gòu)越精細,精細結(jié)構(gòu)所具有的能量相對越大,具有更強的填充空間的能力。 

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