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鍍層測厚儀殘余應(yīng)力的測量
通常在薄膜/涂層制備過程中,基體要加熱到一定溫度,冷卻下來時(shí),因基體材料和涂層材料的熱膨脹系數(shù)不一樣,而在涂層中存在著殘余應(yīng)力。當(dāng)涂層材料的熱膨脹系數(shù)小于基體材料的熱膨脹系數(shù)時(shí),涂層中存在著壓應(yīng)力,相反則存在著拉應(yīng)力。在拉應(yīng)力作用下,涂層中易產(chǎn)生裂紋。無論是拉應(yīng)力還是壓應(yīng)力,都會在涂層/基體界面間產(chǎn)生剪切應(yīng)力,當(dāng)剪切應(yīng)力大到能克服涂層與基體界面間結(jié)合力時(shí),涂層就會沿著界面從基體上剝落下來。 因熱膨脹系數(shù)差異而導(dǎo)致涂層中的殘余應(yīng)力為宏觀應(yīng)力,不僅取決于熱膨脹系數(shù)差異的大小,而且取決于薄膜/涂層制備時(shí),基體溫度的高低。除了宏觀熱應(yīng)力外,涂層中還會存在微觀局部應(yīng)力,局部應(yīng)力往往由于相變、變形不均、涂層中的缺陷等因素引起的。
由基片變形測量應(yīng)變的主要方法有:
⑴ 固定基片測量自由端的移動;
⑵ 采用不固定的圓形基片,由光學(xué)干涉法測量基片的變形。
在自由端位移測量方法中,普遍采用懸臂梁法,基片長寬比通常大于25,薄膜/涂層厚度在25-250微米之間。自由端位移測量可采用光學(xué)顯微鏡直接讀取或采用光學(xué)杠桿放大方法以提高測量精度。園盤法采用探針輪廓儀或?qū)@盤放在厚度為25-250um的光學(xué)玻璃平板上由牛頓環(huán)測出。
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本企業(yè)堅(jiān)持以誠信立業(yè)、以品質(zhì)守業(yè)、以進(jìn)取興業(yè)的宗旨,以更堅(jiān)定的步伐不斷攀登新的高峰,為民族自動化行業(yè)作出貢獻(xiàn),歡迎新老顧客放心選購自己心儀的產(chǎn)品。我們將竭誠為您服務(wù)!
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