- 如果您對(duì)該產(chǎn)品感興趣的話，可以
- 產(chǎn)品名稱：1200℃雙管滑動(dòng)式四通道混氣CVD系統(tǒng)
- 產(chǎn)品型號(hào)：
- 產(chǎn)品展商：上海升利
- 產(chǎn)品文檔：無(wú)相關(guān)文檔
- 發(fā)布時(shí)間：2018-05-28
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簡(jiǎn)單介紹
1200℃雙管滑動(dòng)式四通道混氣CVD系統(tǒng)一個(gè)特殊的雙管CVD系統(tǒng),是專門為在金屬箔上生長(zhǎng)薄膜而設(shè)計(jì),特別是應(yīng)用在新一代能源關(guān)于柔性金屬箔電極方面的研究。通過(guò)滑動(dòng)爐子實(shí)現(xiàn)快速加熱和冷卻。請(qǐng)點(diǎn)擊下圖觀看爐子的工作原理。
產(chǎn)品描述
技術(shù)參數(shù)
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名稱
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1200℃雙管滑動(dòng)式四通道混氣CVD系統(tǒng)
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主要參數(shù)
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·*高工作溫度 1200°C ( < 1 hour )
·正常工作溫度: 1100°C
.電源:208-240VAC, 50/60Hz,
.加熱區(qū)長(zhǎng)度: 440mm
.恒溫區(qū)長(zhǎng)度: 120mm
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特點(diǎn)
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1.雙石英管：外管直徑100mm ，懸掛的內(nèi)管直徑 80mm. 金屬箔纏繞在內(nèi)管的外表面上發(fā)生CVD反應(yīng)。
2.雙管的真空密封法蘭：允許反應(yīng)氣體通過(guò)兩管之間（10mm間隙）發(fā)生反應(yīng)，冷卻氣體直接通入內(nèi)管.
3.四通道質(zhì)量流量計(jì)控制4路氣體。
4.配有KF25快接和波紋管的高速機(jī)械泵。
5.爐子底部裝有滑軌：爐子可以從一端滑向另一端，從而實(shí)現(xiàn)快速升溫和降溫
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殼體結(jié)構(gòu)
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· 高純 Al2O3保溫材料，保證了爐膛有極好的溫度均勻性.
· 內(nèi)爐膛表面涂有進(jìn)口的1760度高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率，同時(shí)也可以延長(zhǎng)儀器的使用壽命/
· 爐子底部的冷卻風(fēng)扇保證了熱量正常對(duì)外釋放.
· 密封法蘭系統(tǒng)全不銹鋼制作。
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石英管結(jié)構(gòu)
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外管:OD100 x ID 96 x 1400, mm
內(nèi)管:OD80 x ID 75 x 1800 mm
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真空法蘭
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· 一對(duì) SS304不銹鋼法蘭，通過(guò)用兩個(gè)高溫“O”型圈緊密密封可獲得高真空。
· 爐子底部裝有一對(duì)滑軌
· 爐子可以手動(dòng)從一端滑向另一端，實(shí)現(xiàn)快速的加熱和冷卻。
· 為了得到較快的加熱速度，可以先將爐子預(yù)熱，然后滑到放置樣品的位置。
· 為了獲得較快的冷卻的速度，把爐子滑向另一端，同時(shí)將冷卻氣體通入樣品所在的位置
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加熱區(qū)
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· 總加熱區(qū)長(zhǎng)度： 900 mm (36")
· 三個(gè)溫區(qū): 300 mm + 300 mm + 300mm (12" per zone)
· 恒溫區(qū)長(zhǎng)度: 500 mm（ 如果三個(gè)溫區(qū)在同一個(gè)溫度)
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控溫系統(tǒng)
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4路精密質(zhì)子流量計(jì)：數(shù)字顯示、氣體流量自動(dòng)控制.
· MFC 1范圍: 0~100 sccm
· MFC 2范圍: 0~200 sccm
· MFC 3范圍: 0~200 sccm
· MFC 4范圍: 0~500 sccm
· 氣路: 4 路
· 流量精度: 0.2%
· 進(jìn)氣和出氣接口: 1/4" 卡套
· 一個(gè)混氣罐.
· 每路氣路都有一個(gè)獨(dú)立的不銹鋼針閥控制
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注意事項(xiàng)
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· 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa
· 由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購(gòu)減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加****
· 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí)，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài)
· 進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對(duì)加熱石英管的沖擊
· 石英管的長(zhǎng)時(shí)間使用溫度＜1100℃
· 對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等
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保修期
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一年保修，終身技術(shù)支持
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免責(zé)聲明
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