名稱

定向CVD生長(zhǎng)爐

主要參數(shù)

·*高工作溫度 1200°C ( < 1 hour )

·正常工作溫度: 1100°C

. 電壓;220v

. 功率：1.5W

·加熱區(qū)：200mm(單溫區(qū)）

·恒溫區(qū)：60mm(±1℃）@1000℃

特點(diǎn)

1.雙石英管：外管直徑100mm ，懸掛的內(nèi)管直徑 80mm. 金屬箔纏繞在內(nèi)管的外表面上發(fā)生CVD反應(yīng)。
2.雙管的真空密封法蘭：允許反應(yīng)氣體通過兩管之間（10mm間隙）發(fā)生反應(yīng)，冷卻氣體直接通入內(nèi)管.
3.四通道質(zhì)量流量計(jì)控制4路氣體。
4.配有KF25快接和波紋管的高速機(jī)械泵。
5.爐子底部裝有滑軌：爐子可以從一端滑向另一端，從而實(shí)現(xiàn)快速升溫和降溫

殼體結(jié)構(gòu)

·  采用雙層殼體結(jié)構(gòu)，并帶有風(fēng)冷系統(tǒng)

·  一個(gè)滑軌安裝在爐體下端，可通過一6“的觸摸屏來控制爐體移動(dòng)方向、滑動(dòng)速度和往返次數(shù)

爐管

·  高純石英管

·  尺寸：50 mm OD x 46mm ID x 1000 mm L

·  儀器加熱前，必須放入管堵，以防止熱量輻射影響法蘭的密封性

爐體滑動(dòng)控制系統(tǒng)

·  觸摸屏控制

·  爐體移動(dòng)有手動(dòng)和自動(dòng)控制兩種控制狀態(tài)，在手動(dòng)狀態(tài)和自動(dòng)狀態(tài)下均可設(shè)定左右移動(dòng)的速度，但只有在自動(dòng)狀態(tài)下才能設(shè)定左右移動(dòng)的次數(shù)。

·  含蜂鳴報(bào)警器，當(dāng)爐體觸碰到限位開關(guān)就會(huì)產(chǎn)生報(bào)警，并切斷控制電路，使?fàn)t體停止移動(dòng)。

·  可顯示高溫爐內(nèi)的爐溫，與之通

滑軌長(zhǎng)度

1200MM

控溫系統(tǒng)

·  采用PID方式調(diào)節(jié)溫度，可設(shè)置30段升溫、降溫和保溫程序

·  設(shè)置有溫度過高和斷偶保護(hù)系統(tǒng)

·  控溫精度：±1℃

·  可選測(cè)PC控制軟件，將升溫程序和溫度曲線導(dǎo)入到電腦中

保修期

一年保修，終身技術(shù)支持

免責(zé)聲明

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