名稱

1100℃雙管三溫區(qū)管式爐（石墨烯生長(zhǎng)）

主要參數(shù)

·*高工作溫度 1100°C ( < 1 hour )

·正常工作溫度: 200~1000°C

·*大升溫速率& 降溫速率: 10°C/min

. 電壓：單相 220V AC, 50/60 Hz

. *大功率：12KW

殼體結(jié)構(gòu)

·  采用雙層殼體結(jié)構(gòu)，并帶有風(fēng)冷，使得殼體表面的溫度小于.  < 70°C.

·  保溫材料采用高純氧化鋁纖維，環(huán)保節(jié)能，可以*大程度的減少熱量的損失.

·  加熱元件: NiCrAl電阻絲

·  儀器中包含兩個(gè)石英管塞，設(shè)備在加熱前必須放入爐管內(nèi)，防止熱量以熱輻射的形式散失

·  如果使用內(nèi)管進(jìn)行??膜的生長(zhǎng)，那么*大可在8英寸的基片上

雙重石英管結(jié)構(gòu)

·  高純石英管

·  內(nèi)爐膛表面涂有進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率，同時(shí)也可以延長(zhǎng)儀器的使用壽命

·  外管尺寸:279?O.D?x?269?I.D?x?1300mm?Length?(11"?O.D?x?10.6"?I.D?x?48"?L),兩端打開(kāi)，可以連接法蘭

·  內(nèi)管尺寸:216?OD?x?206?IDx?750?mm?Length?(8.5"OD?x?8.1"ID?x30"L),一端封閉另一端連接到氣體入口和出口

加熱區(qū)&溫度控制

·  三個(gè)加熱區(qū)：（總加熱區(qū)長(zhǎng)度：1230mm）

·  溫區(qū)1: 410mm  (16")

·  溫區(qū)2: 410mm  (16")

·  溫區(qū)3: 410 mm (16")

·  恒溫區(qū)長(zhǎng)度: 900mm( +/- 5℃ ,三個(gè)溫區(qū)設(shè)置同樣的溫度)

·  三個(gè)溫區(qū)都采用PID方式控制溫度，可設(shè)置30段升降溫程序，控溫精度為+/- 1℃

·  熱電偶：Omega K型鎧裝熱電偶

加熱區(qū)

·  總加熱區(qū)長(zhǎng)度： 900 mm (36")

·  三個(gè)溫區(qū): 300 mm + 300 mm + 300mm (12" per zone)

·  恒溫區(qū)長(zhǎng)度: 500 mm（ 如果三個(gè)溫區(qū)在同一個(gè)溫度) 

控溫系統(tǒng)

·  三個(gè)精密溫度控制器，采用PID方式控溫，并可設(shè)置30段升降溫程序，每個(gè)溫區(qū)可以進(jìn)行獨(dú)立控溫

·  熱電偶: 三根 K型omega原裝熱電偶，每個(gè)溫區(qū)各一根

·  控溫精度: +/- 1°

真空密封法蘭

·  儀器中包含有一對(duì)不銹鋼真空密封法蘭，采用硅膠密封圈密封 

·  真空度可以達(dá)到10^-2 torr（用機(jī)械泵）

·  左側(cè)法蘭：包括 化學(xué)汽相淀積進(jìn)氣口和冷卻氣體in&out端口

·  右側(cè)法蘭: KF40真空接口和， KF40真空閥門(mén)直接于KF-40波紋管和真空泵相連接，（如想泵和KF-25接口相連接，需要另購(gòu)一個(gè)KF-40轉(zhuǎn)KF-25接頭）

保修期

一年保修，終身技術(shù)支持

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