名稱

1100℃大口徑雙溫區(qū)管式爐--SLJ1100-100

主要參數(shù)

*高溫度：1100℃

*大升溫速率：10℃/min

電壓：208-230VAC 單相

*大功率：8KW

爐體結(jié)構(gòu)

.采用雙層殼體結(jié)構(gòu)，并帶有風(fēng)冷系統(tǒng)，使表面溫度低于70℃

.高純氧化鋁纖維作為爐膛材料

.采設(shè)備中配有2個泡沫陶瓷管堵，設(shè)備使用時必須把管堵塞入到爐管兩端（保證恒溫區(qū)和密封圈的密封性）

.該爐可作為退火或擴(kuò)散爐，*大可用于8”晶片放在對應(yīng)石英舟中

爐管尺寸

?100×1300mm

真空密封&接口

.采用鉸鏈?zhǔn)椒ㄌm和O形密封圈加上機(jī)械泵可使真空度達(dá)到10-2Torr

.可選購一套溫度測試裝置（鎧裝熱偶、補(bǔ)償導(dǎo)線和溫度儀表），用于測試爐管內(nèi)部的溫度

.左側(cè)法蘭：真空壓力表、不銹鋼針形閥和1/4”寶塔嘴接頭

.右側(cè)法蘭：kf40真空接口，方便連接到kf40適用的波紋管、泵和kf40擋板閥

溫控系統(tǒng)

.PID控制和自整定調(diào)節(jié)功能

.設(shè)備除了安裝有一個控溫儀表，同時還安裝有輔助檢測儀表

.智能化30段可編程控制

.控溫**度：±1℃

加熱元件

摻鉬鉻鋁合金

熱偶

K型

注意事項

.爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa

.石英管的長時間使用溫度＜1100℃

.當(dāng)爐體溫度高于1000℃時，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài)

.進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊

.由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加****

.對于樣品加熱的實驗，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐 管破裂，法蘭飛出等

保修期

一年保修，終身技術(shù)支持

免責(zé)聲明

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