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- 產(chǎn)品名稱(chēng)：1200℃三溫區(qū)三通道混氣CVD系統(tǒng)--1200X-80-III-F3LV
- 產(chǎn)品型號(hào)：
- 產(chǎn)品展商：其它品牌
- 產(chǎn)品文檔：無(wú)相關(guān)文檔
- 發(fā)布時(shí)間：2018-04-02
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簡(jiǎn)單介紹
1200℃三溫區(qū)三通道混氣CVD系統(tǒng)--1200X-80-III-F3LV
產(chǎn)品描述
1200X-80-III-F3LV是一款CE認(rèn)證的三溫區(qū)管式爐CVD系統(tǒng)，其管徑為80mm，采用機(jī)械泵，它是由管式爐，三路浮子流量供氣系統(tǒng)組成，其真空度可達(dá)到 10-2 torr。
技術(shù)參數(shù)
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殼體結(jié)構(gòu)
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雙層殼體結(jié)構(gòu)并帶有風(fēng)冷，使得殼體的表面溫度小于60度
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保溫材料采用高純氧化鋁多晶纖維，可以減少熱量的損失，環(huán)保節(jié)能
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內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口的1750度高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率，同時(shí)也可以延長(zhǎng)儀器的使用壽命
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可開(kāi)啟式，更換爐管方便
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功率
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5 KW
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電壓
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AC 208-240V單相, 50/60 Hz
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加熱元件
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Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo
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*高工作溫度
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1200℃
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連續(xù)工作溫度
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1100℃
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*大加熱速率
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≤20 ℃/min
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石英管&
密封法蘭
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80 mm O.D x 72 mm ID. x 1219 mm包含在儀器內(nèi)
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儀器上已經(jīng)安裝有不銹鋼真空密封法蘭，壓力表和閥門(mén)（點(diǎn)擊下面的圖片查看詳細(xì)的信息）
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加熱區(qū)長(zhǎng)度
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三個(gè)溫區(qū)長(zhǎng)度: (880mm, 35" in total)
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溫區(qū) 1: 220mm (8.6" )
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溫區(qū) 2: 440mm (17.3")
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溫區(qū) 3: 220 mm (8.6") 注：由于測(cè)量手段及外部環(huán)境的影響，測(cè)量結(jié)果可能會(huì)有偏差，此參數(shù)僅供參考不作為該設(shè)備的技術(shù)指標(biāo)。您購(gòu)買(mǎi)產(chǎn)品需要準(zhǔn)確的恒溫區(qū)數(shù)據(jù)，請(qǐng)與我公司銷(xiāo)售人員聯(lián)系
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溫控系統(tǒng)
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三個(gè)精密溫度控制器，可獨(dú)立控溫
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PID控制方式,通過(guò)PWM固體繼電器。
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30段可編程智能溫度調(diào)節(jié)儀，并可設(shè)置30段升降溫程序.
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帶有過(guò)熱和斷偶保護(hù)功能
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控溫精度
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+/- 1℃
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真空密封系統(tǒng)
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兩個(gè)不銹鋼密封法蘭(上面已安裝真空計(jì)和截止閥）.
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通過(guò)機(jī)械泵真空度可以達(dá)到 5.5 m-torr. ( 5.5x10-3 torr).如果使用機(jī)械泵和分子泵，真空度可以達(dá)到10-4 torr.
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漏氣率 < 5 m-torr / min
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真空泵
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采用雙旋機(jī)械泵，機(jī)械泵上安裝有進(jìn)口的油污過(guò)濾器，可以過(guò)濾真空泵工作時(shí)產(chǎn)生的油煙，減少泵油的損耗，保護(hù)環(huán)境和人體健康，過(guò)濾的*小微粒直徑為0.3微米
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數(shù)字式真空顯示計(jì)
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可選：本公司進(jìn)口的防腐型數(shù)字式真空顯示計(jì)，其測(cè)量范圍為3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因測(cè)量氣體種類(lèi)不同而需要系數(shù)轉(zhuǎn)換
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氣體流量計(jì)和壓力表
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三個(gè)浮子流量計(jì)，能夠檢測(cè)到氣體的流
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三路浮子量程分別為
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10-100 cc/min.
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16-160 cc/min.
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25-250 cc/min
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內(nèi)部安裝有一混氣罐
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有一壓力表安裝在浮子流量供氣系統(tǒng)側(cè)面上，可以檢測(cè)氣體壓力及混合槽的壓力
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閥門(mén)
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四個(gè)不銹鋼閥門(mén)安裝在浮子流量供氣系統(tǒng)側(cè)面上，用于控制氣體的流量
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外形尺寸
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爐子: 1100 X 450 x 670mm
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底部移動(dòng)架: 600x600x597mm
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開(kāi)門(mén)斷電
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為保證使用**，該電爐為開(kāi)門(mén)斷電設(shè)計(jì)
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凈重
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約 90 Kg
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運(yùn)輸重量
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245 lbs
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質(zhì)保期
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一年質(zhì)保期，相關(guān)耗材除外，如爐管，密封圈，等易耗件
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使用注意事項(xiàng)
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爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa
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由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購(gòu)減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加****
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當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí)，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài)
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進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對(duì)加熱石英管的沖擊
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石英管的長(zhǎng)時(shí)間使用溫度＜1100℃
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對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開(kāi)泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等）
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