管式爐系統(tǒng)

• 雙溫區(qū)立式管式爐可用于加熱樣品
• 容積式喂料器可將固態(tài)粉料不斷送入管式爐中進(jìn)行連續(xù)燒結(jié)或熱處理
• 超聲霧化模塊可利用低振動(dòng)能量將液體霧化，之后利用自重或低壓壓縮空氣噴入管式爐中

	容積式喂料器	超聲霧化模塊

工作功率

總功率6KW 每個(gè)溫區(qū): 3KW

工作電源

208-240V AC 單相，50/60 Hz

*高工作溫度

1200°C (<1 hr)每個(gè)溫區(qū)

連續(xù)工作溫度

1100°C每個(gè)溫區(qū)

*大加熱速率

<= 20°C/min.

控溫精度

+/- 1°C

爐管尺寸和材質(zhì)

• 包含一長(zhǎng)度為1000mm的石英管
• OD：100mm，ID：95mm
• 氧化鋁管堵可懸掛在頂部法蘭處避免熱輻射
• 爐管升級(jí)：如客戶另付費(fèi)用，可用莫來(lái)石管（60mm-100mm）代替石英管，管式爐的使用溫度可升至1250℃

加熱區(qū)長(zhǎng)度

• 200mm（溫區(qū)1）
• 200mm（溫區(qū)2）
• 總加熱長(zhǎng)度：400mm

恒溫區(qū)長(zhǎng)度

300mm（兩溫區(qū)設(shè)置同樣溫度）

溫控系統(tǒng)

• 采用PID方式調(diào)節(jié)溫度，可設(shè)置30段升降溫程序
• 具有超溫及斷偶報(bào)警功能
• 通信端口：RS485
• 可安裝PC控制軟件對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行實(shí)時(shí)采集（需另購(gòu)）
• 

真空密封法蘭
 

• 爐管兩端裝有不銹鋼密封法蘭，真空計(jì)和閥門
• 氣體出氣口與 KF25D 相連接
• 氣體進(jìn)氣口與6.35軟管相連接
• 上端密封法蘭內(nèi)部焊有不銹鋼勾，用于客戶懸掛樣品
• 如想增加抽氣速率以便獲得較高的真空，建議您將標(biāo)配的軟管接頭更換成KF-25轉(zhuǎn)接頭（如左圖）
• 如需要在惰性或還原性氣體條件下使用，建議您將標(biāo)配的軟管接頭更換成VCR雙卡套接頭（如左圖）

真空度

• 10E-2 Torr（用機(jī)械泵）
• 10E-5 Torr （用分子泵）
• 漏氣率 < 5 mTorr / min.

加熱元件

1300°C 摻鉬鐵鉻鋁

設(shè)備尺寸

• 550mm(L) x 380mm(W) x 520mm(H)（不含移動(dòng)架）
• 600mm(L) x 600mm(W) x 1200mm(H)（包含移動(dòng)架）

凈重

約 80 kg （不含移動(dòng)架）

運(yùn)輸尺寸

48"(L) x 40"(W) x 72''(H)

運(yùn)輸重量

181 kg

質(zhì)保期

一年質(zhì)保期，終生維護(hù)（相關(guān)耗材除外，如爐管加熱元件密封圈易耗件）

應(yīng)用注意事項(xiàng)

（為滿足客戶應(yīng)用要求，可另加費(fèi)用為您定制特殊法蘭）

• 客戶在使用前可能會(huì)校準(zhǔn)溫度來(lái)獲得準(zhǔn)確的爐內(nèi)溫度，請(qǐng)點(diǎn)擊此處學(xué)習(xí)如何對(duì)爐體溫度進(jìn)行校正
• 請(qǐng)點(diǎn)擊下圖來(lái)了解如何利用立式爐在真空或者氣氛環(huán)境下進(jìn)行樣品的淬火

圖1	圖2	圖3	圖4

• 可定制一樣品基座，將本系統(tǒng)升級(jí)為一HPCVD（混合物理化學(xué)氣相沉積）爐（點(diǎn)擊圖5了解詳細(xì)情況）
• 可對(duì)尺寸小于1英寸的樣品進(jìn)行釬焊（在樣品上方加一載重，點(diǎn)擊圖6進(jìn)行了解）
• 3溫區(qū)立式爐也可用于該系統(tǒng)中（圖7）

圖5	圖6

警告

• 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa；
• 由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購(gòu)減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加****；
• 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí)，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài)；
• 進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對(duì)加熱石英管的沖擊；
• 石英管的長(zhǎng)時(shí)間使用溫度＜1100℃；
• 對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等）。