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- 產品名稱：1200℃多坩堝依次移動型管式爐--OTF-1200X-II-ZL
- 產品型號：
- 產品展商：其它品牌
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- 發(fā)布時間：2018-03-31
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簡單介紹
1200℃多坩堝依次移動型管式爐--OTF-1200X-II-ZL
產品描述
OTF-1200X-II-ZL是一款爐管可在爐管內部移動的（在真空氣氛保護環(huán)境下移動）管式爐，*多可依次移動4個坩堝。特殊的坩堝推送機構，可將坩堝在爐管內推出后再拉回，讓坩堝能做往返移動。坩堝移動位置&爐體的溫度控制都采用一觸摸屏控制。此款設備可進行物理化學混合沉積（HPCVD），快速熱蒸發(fā)（RTE）等實驗，特別適合制備多層二維晶體材料。
技術參數
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開啟式管式爐
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雙溫區(qū)管式爐：兩個獨立的溫控系統分別獨立控制兩個溫區(qū)
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加熱區(qū)長度：溫區(qū)1:200mm, 溫區(qū)2:200mm
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爐管材料：高純石英
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爐管尺寸：外徑: 60 ×內徑: 54×長: 760 mm
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溫度曲線圖(兩個溫區(qū)設置在800℃時所測，僅供參考）
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*高工作溫度：1200℃（<1hr)
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連續(xù)工作溫度：1100℃
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控溫精度：+/-1℃
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真空密封
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配有不銹鋼密封法蘭，上面安裝有不銹鋼截止閥和機械壓力表
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進氣端法蘭接口為Φ6.35卡套接頭，出氣端法蘭接口為KF25接口
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法蘭密封圈采用水冷卻，使用時需要通入冷卻水，可在本公司選購循環(huán)水冷機
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真空度：10E-2 torr（采用機械泵），10-E5 torr(采用分子泵)
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坩堝移動機構（轉輪式法蘭）
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一根鎧裝熱電偶通過左端法蘭通入到爐管內部，并與坩堝相連接(圖1)
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通過步進電機驅動使坩堝移動，并和熱電偶和坩堝一起移動，實時監(jiān)測樣品的溫度
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進氣端法蘭轉輪式法蘭（圖2）
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可同時在轉輪系統中放入4個坩堝，可交替將放入4種材料的石英坩堝自動送入到石英管中（可在真空狀態(tài)或氣氛保護狀態(tài)進行運作）
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坩堝移動控制
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通過一步進電機控制坩堝移動的速度和位置
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可控制坩堝*小移動位移為1mm
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坩堝*大移動距離為200mm
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防腐型數顯真空計
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配有一數顯防腐型真空計
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當氣壓在10mbar以上時，不需因測量氣體種類不同而進行系數轉換
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對于氣體的壓力檢測具有較高的**度和重復性
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因為傳感器上鍍有涂層，所以具有較好的抗腐蝕性
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測量范圍：3.8x10-5 -1125 Torr
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混氣系統
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此套設備中配有一2路混氣系統
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*大輸出功率：18W
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工作溫度：5-45℃
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*大氣壓：3×106Pa
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精度：±1%FS
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質量流量計量程：
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1:0-100sccm
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2:1-199sccm
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可根據客戶要求選購1-5路供氣系統
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產品尺寸
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2400L×600W×1300mm H
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質保
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一年質保期，終生維護（不包含爐管，密封圈和加熱元件）
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使用注意事項
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爐管內氣壓不可高于0.02MPa
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由于氣瓶內部氣壓較高，所以向爐管內通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加****
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當爐體溫度高于1000℃時，爐管內不可處于真空狀態(tài)，爐管內的氣壓需和大氣壓相當，保持在常壓狀態(tài)
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進入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊
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石英管的長時間使用溫度＜1100℃
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對于樣品加熱的實驗，不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關注壓力表的示數，若氣壓表示數大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐 管破裂，法蘭飛出等）
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應用注意事項
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此款管式爐具有多種用途
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熱蒸發(fā)：把蒸發(fā)料放在坩堝里，通過移動坩堝來**找到所需要的蒸發(fā)溫度
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HPCVD：和熱蒸發(fā)相似，可通入反應氣體與蒸發(fā)的物料反應后再沉積
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可用于制作多層二維晶體
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