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上海升利測(cè)試儀器有限公司
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主營:我公司主要産品有:可程式高低溫箱、恒溫恒濕箱、冷熱衝擊箱、鹽霧試驗(yàn)箱、老化箱、精密高溫箱、耐候試驗(yàn)箱、加速壽命試驗(yàn)機(jī)、及力學(xué)方面的振動(dòng)機(jī)、恒溫恒濕加振動(dòng)綜合試驗(yàn)機(jī)、跌落機(jī),干燥箱、燃燒試驗(yàn)機(jī)。 高溫爐。管式爐、氣氛爐等
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產(chǎn)品詳情

1200°C三溫區(qū)二通道混氣高真空CVD系統(tǒng)爐--OTF-1200X-III-HVC[產(chǎn)品打印頁面]

  • 如果您對(duì)該產(chǎn)品感興趣的話,可以
  • 產(chǎn)品名稱:1200°C三溫區(qū)二通道混氣高真空CVD系統(tǒng)爐--OTF-1200X-III-HVC
  • 產(chǎn)品型號(hào):
  • 產(chǎn)品展商:其它品牌
  • 產(chǎn)品文檔:無相關(guān)文檔
  • 發(fā)布時(shí)間:2018-03-31
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簡(jiǎn)單介紹
1200°C三溫區(qū)二通道混氣高真空CVD系統(tǒng)爐--OTF-1200X-III-HVC
產(chǎn)品描述

OTF-1200X-III-HVC是由OTF-1200X-III三溫區(qū)管式爐,二路質(zhì)子混氣系統(tǒng)和高真空機(jī)組組成。其*高工作溫度可達(dá)1200℃,極限真空度可達(dá) 10-5 torr?;鞖庀到y(tǒng)可以對(duì)兩種氣體進(jìn)行**的混氣,然后導(dǎo)入到管式爐內(nèi)部。

技術(shù)參數(shù)

OTF-1200X-III管式爐

殼體結(jié)構(gòu)

  • 雙層殼體結(jié)構(gòu),便帶有風(fēng)冷系統(tǒng),使得殼體表面溫度小于55度
  • 內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率,同時(shí)也可以延長(zhǎng)儀器的使用壽命

爐管

  • 材質(zhì):高純石英管
  • 石英管包含在內(nèi)
  • 可以選擇其他管徑

管堵放置位置

功率

7KW

額定電壓

AC 208-240V 單相50/60Hz

加熱元件

Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo(電阻絲表面涂有氧化鋯涂層,*大程度的延長(zhǎng)加熱元件的使用壽命)

工作溫度

  • *高工作溫度:1200℃
  • 連續(xù)工作溫度:1100

升溫速率

升溫速率: 1~20/min 可編程

加熱區(qū)長(zhǎng)度

總加熱區(qū):900mm (300mm + 300mm + 300mm)

控溫程序

  • 三個(gè)精密溫度控制器分別控制三個(gè)溫區(qū)
  • PID自動(dòng)控制方式,可設(shè)置30段升降溫程序
  • 控溫精度: ±1
  • 熱電偶 :采用K型熱電偶進(jìn)行測(cè)溫

真空密封

  • 一對(duì)不銹鋼真空法蘭,已經(jīng)安裝
  • 法蘭上已安裝機(jī)械壓力表
  • 一對(duì)精密針閥
  • KF-40抽氣接口

額定電壓

AC 208-240V 單相, 50/60Hz

尺寸

1100(L) x 450(W) x 670(H), mm

高真空機(jī)組

結(jié)構(gòu)

  • 殼體尺寸:  600 (L) x 600 (W) x 700(H), mm
  • *大承重:  600 Lbs
  • 分子泵顯示屏: LCD 數(shù)字顯示
  • 殼體內(nèi)安裝有有一臺(tái)德國制造分子泵

抽氣速率

  • N2   33 L/s
  • He   39 L/s   (2340L/minute)
  • H2   32 L/s

工作范圍

From 1000 mbar to <1E-7 mbar

極限

<1E-8 mbar (無泄漏)

電壓&功率

110VAC~ 220VAC, 110W

質(zhì)量流量控制系統(tǒng)

殼體結(jié)構(gòu)

  • 2~9通道氣體采用PLC觸摸屏控制和PC操作軟件
  • LED 顯示
  • 4通道MFC采用316不銹鋼制作,氣體流量如下

通道1: 0~100SCCM

通道 2: 1~199 SCCM

通道 3: 1~199 SCCM

通道4: 1~499 SCCM

  • 4個(gè)通道的氣體經(jīng)過氣體混合罐尺寸: 600(L) x 745(W) x 700(H), mm

功率

18W

額定電壓

AC 208-240V, 單相, 50/60Hz

開門斷電

為保證使用**,該電爐為開門斷電設(shè)計(jì)

質(zhì)保期

一年質(zhì)保期,相關(guān)耗材除外,如爐管密封圈加熱元件等易耗件

使用注意事項(xiàng)

  • 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa
  • 由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí),氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加****
  • 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí),爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng),保持在常壓狀態(tài)
  • 進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對(duì)加熱石英管的沖擊
  • 石英管的長(zhǎng)時(shí)間使用溫度<1100℃
  • 對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn),不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱,則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐管破裂,法蘭飛出等)
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