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- 產(chǎn)品名稱:1200°C三溫區(qū)二通道混氣高真空CVD系統(tǒng)爐--OTF-1200X-III-HVC
- 產(chǎn)品型號(hào):
- 產(chǎn)品展商:其它品牌
- 產(chǎn)品文檔:無相關(guān)文檔
- 發(fā)布時(shí)間:2018-03-31
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簡(jiǎn)單介紹
1200°C三溫區(qū)二通道混氣高真空CVD系統(tǒng)爐--OTF-1200X-III-HVC
產(chǎn)品描述
OTF-1200X-III-HVC是由OTF-1200X-III三溫區(qū)管式爐,二路質(zhì)子混氣系統(tǒng)和高真空機(jī)組組成。其*高工作溫度可達(dá)1200℃,極限真空度可達(dá) 10-5 torr?;鞖庀到y(tǒng)可以對(duì)兩種氣體進(jìn)行**的混氣,然后導(dǎo)入到管式爐內(nèi)部。
技術(shù)參數(shù)
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OTF-1200X-III管式爐
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殼體結(jié)構(gòu)
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雙層殼體結(jié)構(gòu),便帶有風(fēng)冷系統(tǒng),使得殼體表面溫度小于55度
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內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率,同時(shí)也可以延長(zhǎng)儀器的使用壽命
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爐管
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材質(zhì):高純石英管
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石英管包含在內(nèi)
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可以選擇其他管徑
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管堵放置位置
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功率
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7KW
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額定電壓
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AC 208-240V 單相50/60Hz
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加熱元件
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Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo(電阻絲表面涂有氧化鋯涂層,*大程度的延長(zhǎng)加熱元件的使用壽命)
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工作溫度
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*高工作溫度:1200℃
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連續(xù)工作溫度:1100℃
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升溫速率
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升溫速率: 1~20℃/min 可編程
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加熱區(qū)長(zhǎng)度
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總加熱區(qū):900mm (300mm + 300mm + 300mm)
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控溫程序
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三個(gè)精密溫度控制器分別控制三個(gè)溫區(qū)
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PID自動(dòng)控制方式,可設(shè)置30段升降溫程序
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控溫精度: ±1℃
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熱電偶 :采用K型熱電偶進(jìn)行測(cè)溫
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真空密封
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一對(duì)不銹鋼真空法蘭,已經(jīng)安裝
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法蘭上已安裝機(jī)械壓力表
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一對(duì)精密針閥
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KF-40抽氣接口
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額定電壓
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AC 208-240V 單相, 50/60Hz
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尺寸
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1100(L) x 450(W) x 670(H), mm
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高真空機(jī)組
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結(jié)構(gòu)
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殼體尺寸: 600 (L) x 600 (W) x 700(H), mm
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*大承重: 600 Lbs
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分子泵顯示屏: LCD 數(shù)字顯示
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殼體內(nèi)安裝有有一臺(tái)德國制造分子泵
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抽氣速率
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N2 33 L/s
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He 39 L/s (2340L/minute)
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H2 32 L/s
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工作范圍
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From 1000 mbar to <1E-7 mbar
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極限
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<1E-8 mbar (無泄漏)
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電壓&功率
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110VAC~ 220VAC, 110W
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質(zhì)量流量控制系統(tǒng)
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殼體結(jié)構(gòu)
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2~9通道氣體采用PLC觸摸屏控制和PC操作軟件
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LED 顯示
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4通道MFC采用316不銹鋼制作,氣體流量如下
通道1: 0~100SCCM
通道 2: 1~199 SCCM
通道 3: 1~199 SCCM
通道4: 1~499 SCCM
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4個(gè)通道的氣體經(jīng)過氣體混合罐尺寸: 600(L) x 745(W) x 700(H), mm
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功率
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18W
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額定電壓
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AC 208-240V, 單相, 50/60Hz
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開門斷電
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為保證使用**,該電爐為開門斷電設(shè)計(jì)
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質(zhì)保期
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一年質(zhì)保期,相關(guān)耗材除外,如爐管密封圈加熱元件等易耗件
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使用注意事項(xiàng)
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爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa
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由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí),氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加****
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當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí),爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng),保持在常壓狀態(tài)
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進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對(duì)加熱石英管的沖擊
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石英管的長(zhǎng)時(shí)間使用溫度<1100℃
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對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn),不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱,則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐管破裂,法蘭飛出等)
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