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上海升利測試儀器有限公司
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主營:我公司主要産品有:可程式高低溫箱、恒溫恒濕箱、冷熱衝擊箱、鹽霧試驗箱、老化箱、精密高溫箱、耐候試驗箱、加速壽命試驗機、及力學(xué)方面的振動機、恒溫恒濕加振動綜合試驗機、跌落機,干燥箱、燃燒試驗機。 高溫爐。管式爐、氣氛爐等
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產(chǎn)品詳情

1200°C三溫區(qū)九通道混氣高真空CVD系統(tǒng)-OTF-1200X-4-III-9HV[產(chǎn)品打印頁面]

  • 如果您對該產(chǎn)品感興趣的話,可以
  • 產(chǎn)品名稱:1200°C三溫區(qū)九通道混氣高真空CVD系統(tǒng)-OTF-1200X-4-III-9HV
  • 產(chǎn)品型號:
  • 產(chǎn)品展商:上海升利
  • 產(chǎn)品文檔:無相關(guān)文檔
  • 發(fā)布時間:2018-03-31
  • 在線詢價
簡單介紹
1200°C三溫區(qū)九通道混氣高真空CVD系統(tǒng)-OTF-1200X-4-III-9HV
產(chǎn)品描述

OTF-1200X-4-III-9HV是一款CE認證的九通道高真空三溫區(qū)CVD系統(tǒng),齊爐管直徑為4英寸,它是由九通道質(zhì)量流量控制器和高真空機組組成,其*高溫度可達1200,極限真空可達to 10^-5 torr,混氣系統(tǒng)可以對1-9種氣體進行**的混氣,然后導(dǎo)入到管式爐內(nèi)部,用來研究氣體環(huán)境對材料的影響。

技術(shù)參數(shù)

管式爐 殼體
  • 采用雙層殼體結(jié)構(gòu),并帶有風(fēng)冷,使得殼體表面的溫度小于60
  • 保溫材料采用高純氧化鋁纖維,可以環(huán)保節(jié)能,減少熱量的損失
  • 內(nèi)爐膛表面涂有美國進口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率,同時也可以延長儀器的使用壽命
  • 三個溫區(qū),可以獨立控溫
  • 真空機組和氣體流量供氣系統(tǒng)位于移動加上,方便移動.
加熱元件 Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo,(電阻絲表面涂有氧化鋯涂層,使其延長加熱元件的壽命)
*高工作溫度

1200°C

連續(xù)工作溫度 1100°C
*大升溫速率 ≤20°C/min
加熱區(qū)長度
  • 總溫區(qū)長度:   (880mm,  35" in total)
  • 溫區(qū) 1: 220 mm + 溫區(qū)2:  440 mm + 溫區(qū) 3: 220 mm
恒溫區(qū) 500mmL (三個溫區(qū)在同一溫度within +/- 1°C) 注:由于測量手段及外部環(huán)境的影響,測量結(jié)果可能會有偏差,此參數(shù)僅供參考不作為該設(shè)備的技術(shù)指標。您購買產(chǎn)品需要準確的恒溫區(qū)數(shù)據(jù),請與我公司銷售人員聯(lián)系
爐管尺寸和材質(zhì)
  • 材質(zhì):高純石英管
  • 100 mm O.D x 92 mm ID. x 1400 mm
溫控系統(tǒng)
  • 三個數(shù)字精密溫度控制器,可設(shè)置50段升降溫程序,每個溫區(qū)可以進行獨立控溫
  • PID調(diào)節(jié)與自動調(diào)整功能,確保溫度穩(wěn)定在+/ - 1 oC
  • 帶有過熱和斷偶保護
  • 控溫儀表操作視頻
熱電偶 3K型熱電偶
輸入電源 AC 208~240V, 單相, 50/60Hz, 功率:7KW
真空配件
  • 標準的真空配件包括
  • 兩個不銹鋼真空密封法蘭與kf 25抽氣接口
  • 個精密針閥和一個1/4軟管接頭
  • 6個高溫硅膠O型密封圈,*高可承受溫度300°C
  • 為了防止熱量以熱輻射的形式散失,高溫損壞密封圈,爐子在加熱前必須放入氧化鋁管堵
  • 一根KF-40 抽真空波紋管
  • 三個KF-40 快速卸裝卡箍
  • 2KF-25 快速卸裝卡箍
高真空機組 結(jié)構(gòu)
  • 殼體尺寸:  600 (L) x 600 (W) x 700(H), mm
  • *大承載量:       600 Lbs on top
  • 分子泵顯示屏:LCD數(shù)字顯示 內(nèi)裝有一Pfeiffer vacuum pump  made in Germany
真空傳感器
  • 真空傳感器有一個kf 25接口
  • 可選:本公司進口的防腐型數(shù)字式真空顯示計,其測量范圍為3.8x10-5 1125 Torr. 不需因測量氣體種類不同而需要系數(shù)轉(zhuǎn)換。(點擊圖片查看詳細介紹)


控制面板
  • 一鍵操作:按下"start" 鍵后,隔膜泵和渦輪分子泵將會啟動(隔膜泵先啟動等真空度達到10-2mbar后,分子泵自動啟動)
  • 系統(tǒng)控制旋轉(zhuǎn)速率:根據(jù)腔體內(nèi)的真空度,系統(tǒng)自動控制旋片泵的旋轉(zhuǎn)速率


抽氣速率
  • N2     33 L/s
  • He     39 L/s   (2340L/minute)
  • H2     32 L/s
工作范圍 1000 mbar to <1E-7 mbar
極限
10^-5 torr (with tube furnace)
輸入電源
110V AC or 220V AC可切換的, 50/60Hz
消耗功率
持續(xù)時間/*大功率: 100/110Watt
MFC 質(zhì)量流量控制器
  • 9通道精密質(zhì)量流量控制器,安裝在移動架上,并帶有數(shù)字顯示
  • 3 MFC 范圍10 - 1000scc
  • 3 MFC 范圍2 0 - 200scc
  • 3 MFC范圍3 0 - 10 scc
  • 三個壓力表分別安裝在底部移動架的質(zhì)量流量控制系統(tǒng)上,用來檢測混合氣體的壓力


運輸信息
  • 爐子尺寸:     550 x 380 x 520mm
  • 質(zhì)量流量控制器尺寸: 600 x 600 x 700mm
  • 高真空機組尺寸:  600 x 600 x 700mm
重量
  • 凈重: 100Kg
  • 運輸重量: 350 lb (two pallets)
一年質(zhì)保期,相關(guān)耗材除外如爐管,密封圈,加熱元件等易耗件
質(zhì)保期

CE Certificateed

使用注意事項
  • 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa
  • 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加****
  • 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時,爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng),保持在常壓狀態(tài)
  • 進入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊
  • 石英管的長時間使用溫度<1100℃
  • 對于樣品加熱的實驗,不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐管破裂,法蘭飛出等)
Operation Manual Quick test instruction
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