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上海升利測(cè)試儀器有限公司
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主營(yíng):我公司主要産品有:可程式高低溫箱、恒溫恒濕箱、冷熱衝擊箱、鹽霧試驗(yàn)箱、老化箱、精密高溫箱、耐候試驗(yàn)箱、加速壽命試驗(yàn)機(jī)、及力學(xué)方面的振動(dòng)機(jī)、恒溫恒濕加振動(dòng)綜合試驗(yàn)機(jī)、跌落機(jī),干燥箱、燃燒試驗(yàn)機(jī)。 高溫爐。管式爐、氣氛爐等
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產(chǎn)品詳情

1700°C二通道混氣高真空CVD系統(tǒng)-GSL-1700X-HVC[產(chǎn)品打印頁(yè)面]

  • 如果您對(duì)該產(chǎn)品感興趣的話,可以
  • 產(chǎn)品名稱:1700°C二通道混氣高真空CVD系統(tǒng)-GSL-1700X-HVC
  • 產(chǎn)品型號(hào):
  • 產(chǎn)品展商:其它品牌
  • 產(chǎn)品文檔:無(wú)相關(guān)文檔
  • 發(fā)布時(shí)間:2018-03-31
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簡(jiǎn)單介紹
1700°C二通道混氣高真空CVD系統(tǒng)-GSL-1700X-HVC
產(chǎn)品描述

GSL-1700X-HVC是一款CE認(rèn)證的二通道高真空CVD系統(tǒng),它是由二路質(zhì)子混氣系統(tǒng)和高真空機(jī)組組成,其*高工作溫度可達(dá)1600,極限真空度可達(dá) to 10^-5 torr?;鞖庀到y(tǒng)可以對(duì)兩種氣體進(jìn)行**的混氣,然后導(dǎo)入到管式爐內(nèi)部。

技術(shù)參數(shù)

GSL-1700X 系列管式爐

殼體

  • 采用雙層殼體結(jié)構(gòu),并帶有風(fēng)冷,使得殼體表面的溫度 < 55°C.
  • 內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率,同時(shí)也可以延長(zhǎng)儀器的使用壽命
  • 保溫材料采用高純氧化鋁纖維,環(huán)保節(jié)能,減少熱量的損失
  • 真空泵和氣體混合系統(tǒng)位于移動(dòng)架上,方便移動(dòng).
  • 儀器上已經(jīng)安裝高真空法蘭,閥門,高真空機(jī)組

爐管

  • 材質(zhì): 高純氧化鋁陶瓷管
  • 一根高純氧化鋁陶瓷管已經(jīng)安裝在爐子上
  • (標(biāo)配尺寸) ( 60mm) O.D.x I.D. (50mm) x 1000mm L
  • (選配尺寸) ( 80mm) O.D.x I.D. (70mm) x  1000mm L

功率

6KW

工作電壓

AC 208-240V單相, 50/60Hz

加熱元件

8 1800°C grade MoSi2 heating element

工作溫度

  • *高工作溫度.: 1650°C
  • 連續(xù)工作溫度.: 1600°C

升溫速率

≤5°C/min

加熱區(qū)長(zhǎng)度

  • 加熱區(qū)長(zhǎng)度: 457 mm (18")
  • 恒溫區(qū)長(zhǎng)度: 150 mm (6")(+/-1°C) 注:由于測(cè)量手段及外部環(huán)境的影響,測(cè)量結(jié)果可能會(huì)有偏差,此參數(shù)僅供參考不作為該設(shè)備的技術(shù)指標(biāo)。您購(gòu)買產(chǎn)品需要準(zhǔn)確的恒溫區(qū)數(shù)據(jù),請(qǐng)與我公司銷售人員聯(lián)系

溫控系統(tǒng)

  • 采用PID方式自動(dòng)控制,并可設(shè)置30段升降溫程序
  • 控溫精度: ±1°C
  • 控溫儀表操作視頻
  • 熱電偶: B 型,已經(jīng)安裝在爐內(nèi)

真空法蘭

  • 一對(duì)不銹鋼真空密封法蘭已經(jīng)安裝
  • 法蘭上帶有一機(jī)械壓力表
  • 兩個(gè)精密針閥
  • 一個(gè)KF-25連接器 KF-25 轉(zhuǎn) KF-40 抽氣接口
  • 一個(gè)1/4"卡套接頭

外形尺寸

550 x 380 x 520mm

高真空機(jī)組

功率

100~110W

工作電壓

AC 208-240V單相, 50/60Hz

外形尺寸

600(L) x 600(W) x 700(H), mm

殼體

  • 殼體尺寸:  600 (L) x 600 (W) x 700(H), mm
  • *大承載量:       600 Lbs on top
  • 分子泵控制面板:   LCD 數(shù)字顯示
  • 內(nèi)裝有一 Pfeiffer vacuum pump  made in Germany:

控制面板

  • 一鍵操作:按下"start" 鍵后,隔膜泵和渦輪分子泵將會(huì)啟動(dòng)(隔膜泵先啟動(dòng)等真空度達(dá)到10-2mbar后,分子泵自動(dòng)啟動(dòng))
  • 系統(tǒng)控制旋轉(zhuǎn)速率:根據(jù)腔體內(nèi)的真空度,系統(tǒng)自動(dòng)控制旋片泵的旋轉(zhuǎn)速率


抽氣速率

  • N2     33 L/s
  • He     39 L/s   (2340L/minute)
  • H2   32 L/s

工作范圍

1000 mbar to <1E-7 mbar

極限

<1E-8 mbar (without any leaking )

質(zhì)量流量控制器

殼體

  • 采用 316不銹鋼制作
  • 混氣箱尺寸: Φ80X120mm
  • 外形尺寸: 600(L) x 600(W) x 700(H), mm
  • MFC控制面板 (Click to enlarge),可根據(jù)客戶要求定制


功率

18W

工作電壓

AC 208-240V, 單相, 50/60Hz

質(zhì)保期

一年質(zhì)保期,相關(guān)耗材除外,如爐管,密封圈,等易耗件

  • CE認(rèn)
  • 所有電器元件(>24V)都通過(guò)了UL/MET/CSA認(rèn)證
  • 若客戶出認(rèn)證費(fèi)用,本公司保證單臺(tái)設(shè)備通過(guò)德國(guó)TUV認(rèn)證或CAS認(rèn)證


Operation Manual


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