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上海升利測(cè)試儀器有限公司
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主營(yíng):我公司主要産品有:可程式高低溫箱、恒溫恒濕箱、冷熱衝擊箱、鹽霧試驗(yàn)箱、老化箱、精密高溫箱、耐候試驗(yàn)箱、加速壽命試驗(yàn)機(jī)、及力學(xué)方面的振動(dòng)機(jī)、恒溫恒濕加振動(dòng)綜合試驗(yàn)機(jī)、跌落機(jī),干燥箱、燃燒試驗(yàn)機(jī)。 高溫爐。管式爐、氣氛爐等
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產(chǎn)品詳情

三溫區(qū)1500℃ PECVD系統(tǒng)-OTF-1500X-III-4CV-PE-SL[產(chǎn)品打印頁面]

  • 如果您對(duì)該產(chǎn)品感興趣的話,可以
  • 產(chǎn)品名稱:三溫區(qū)1500℃ PECVD系統(tǒng)-OTF-1500X-III-4CV-PE-SL
  • 產(chǎn)品型號(hào):
  • 產(chǎn)品展商:其它品牌
  • 產(chǎn)品文檔:無相關(guān)文檔
  • 發(fā)布時(shí)間:2018-03-31
  • 在線詢價(jià)
簡(jiǎn)單介紹
三溫區(qū)1500℃ PECVD系統(tǒng)-OTF-1500X-III-4CV-PE-SL
產(chǎn)品描述

OTF-1500X-III-4CV-PE-SL是一款三溫區(qū)1500℃的PECVD管式爐系統(tǒng),它是由500W的射頻電源,1500℃三溫區(qū)管式爐、多通道質(zhì)子混氣系統(tǒng)和真空系統(tǒng)組成。此款PECVD系統(tǒng)對(duì)于生長(zhǎng)納米線、石墨烯或SiC薄膜是一個(gè)新的實(shí)驗(yàn)幫手。


技術(shù)參數(shù)

三溫區(qū)開啟式1500℃管式爐

  • *高工作溫度1500
  • 連續(xù)使用溫度1400
  • 三個(gè)溫區(qū)分別由三個(gè)溫控系統(tǒng)來控制,都可設(shè)置30段升降溫程序
  • 每個(gè)溫區(qū)長(zhǎng)度為200mm
  • 總溫區(qū)長(zhǎng)度為600mm
  • 爐管為高純剛玉管
  • 爐管尺寸:(標(biāo)配)60 O.D x 53 I.D x 1500mm L
  • 爐管尺寸:(選配)80 O.D x 73 I.D x 1500mm L
  • 輸入電源: 208 240V AC,單相
  • *大功率:6.6KW
  • 配有一對(duì)不銹鋼真空密封法蘭,法蘭上帶有石英觀察窗口
  • 內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口的1760度高溫氧化鋁涂層,可以提高設(shè)備加熱效率及反射率,同時(shí)延長(zhǎng)儀器的使用壽命。(點(diǎn)擊圖片查看詳細(xì)資料)


射頻電源

  • 輸出功率:          5 -500W ± 1% .
  • 射頻頻率:          13.56 MHz ±0.005% .
  • 反射功率: *大 200W
  • 匹配: 自動(dòng)
  • 射頻接口:       50 Ω, N-type
  • 噪音:                    <50 dB.
  • 冷卻: 風(fēng)冷.
  • 電源:                AC   208-240V, 50/60Hz

防腐型真空計(jì)

  • 輸入電源 24V,1A  DC(配有一電壓轉(zhuǎn)換器)
  • 測(cè)量范圍 3.8x10-5 -1125 Torr.
  • 數(shù)據(jù)顯示   數(shù)字顯示(屏幕尺寸為20x14mm),其數(shù)據(jù)顯示單位為torr
  • 接頭 1/8"NPT 接頭
  • 產(chǎn)品尺寸 46mm×28mm×126mm ( L x W x H)


真空系統(tǒng)

  • 采用TRP-12的雙旋真空泵, 極限真空10E-3 Torr
  • KFD25 快接,不銹鋼波紋管,手動(dòng)擋板閥與法蘭,真空泵相連.
  • 管內(nèi)真空可達(dá)10E-2 Torr
  •  


質(zhì)量流量計(jì)混氣系統(tǒng)

  • 四個(gè)精密的質(zhì)量流量計(jì)(精度1.5% ) :數(shù)字顯示,自動(dòng)控制.
  • MFC 1范圍:  0~100 sccm
  • MFC 2和3:    0~200 sccm
  • MFC 4范圍:   0~500 sccm
  • 一個(gè)混氣罐,底部裝有泄廢液口.
  • 4 個(gè)不銹鋼針閥安裝在供氣系統(tǒng)的左側(cè),可手動(dòng)控制4種氣體.
  • 進(jìn)氣口: 4個(gè)1/4NPS.
  • 出氣口: 4個(gè) 1/4NPS.
  • 采用PLC控制流量計(jì),通過觸摸屏進(jìn)行控制


溫控系統(tǒng)

  • 三個(gè)溫區(qū)分別由三個(gè)溫控系統(tǒng)控制
  • 采用PID方式調(diào)節(jié)溫度,可設(shè)置30段升降溫程序
  • 帶有超溫和斷偶保護(hù)
  • 控溫精度:+/- 1 oC
  • 控溫儀表操作視頻
  • 可選;此款設(shè)備可以安裝控制模塊,將溫度設(shè)置和溫度曲線導(dǎo)入到電腦


外型尺寸

  • 爐體:550 x 380 x 520  mm
  • 爐體下端移動(dòng)柜:1800×600×600mm
  • 凈重:220 Lbs.
  • 運(yùn)輸重量:1200lbs

質(zhì)保期

一年質(zhì)保期,終身維護(hù),相關(guān)耗材除外如爐管,密封圈等易耗件

  • CE認(rèn)證
  • 所有電器元件(>24V)都通過UL?/?MET?/?CSA認(rèn)證
  • 若客戶出認(rèn)證費(fèi)用,本公司保證單臺(tái)設(shè)備通過德國(guó)TUV認(rèn)證或CAS認(rèn)證



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