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- 產(chǎn)品名稱:三溫區(qū)1500℃ PECVD系統(tǒng)-OTF-1500X-III-4CV-PE-SL
- 產(chǎn)品型號(hào):
- 產(chǎn)品展商:其它品牌
- 產(chǎn)品文檔:無相關(guān)文檔
- 發(fā)布時(shí)間:2018-03-31
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簡(jiǎn)單介紹
三溫區(qū)1500℃ PECVD系統(tǒng)-OTF-1500X-III-4CV-PE-SL
產(chǎn)品描述
OTF-1500X-III-4CV-PE-SL是一款三溫區(qū)1500℃的PECVD管式爐系統(tǒng),它是由500W的射頻電源,1500℃三溫區(qū)管式爐、多通道質(zhì)子混氣系統(tǒng)和真空系統(tǒng)組成。此款PECVD系統(tǒng)對(duì)于生長(zhǎng)納米線、石墨烯或SiC薄膜是一個(gè)新的實(shí)驗(yàn)幫手。
技術(shù)參數(shù)
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三溫區(qū)開啟式1500℃管式爐
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*高工作溫度1500℃
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連續(xù)使用溫度1400℃
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三個(gè)溫區(qū)分別由三個(gè)溫控系統(tǒng)來控制,都可設(shè)置30段升降溫程序
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每個(gè)溫區(qū)長(zhǎng)度為200mm
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總溫區(qū)長(zhǎng)度為600mm
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爐管為高純剛玉管
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爐管尺寸:(標(biāo)配)60 O.D x 53 I.D x 1500mm L
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爐管尺寸:(選配)80 O.D x 73 I.D x 1500mm L
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輸入電源: 208 – 240V AC,單相
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*大功率:6.6KW
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配有一對(duì)不銹鋼真空密封法蘭,法蘭上帶有石英觀察窗口
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內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口的1760度高溫氧化鋁涂層,可以提高設(shè)備加熱效率及反射率,同時(shí)延長(zhǎng)儀器的使用壽命。(點(diǎn)擊圖片查看詳細(xì)資料)
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射頻電源
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輸出功率: 5 -500W ± 1% .
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射頻頻率: 13.56 MHz ±0.005% .
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反射功率: *大 200W
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匹配: 自動(dòng)
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射頻接口: 50 Ω, N-type
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噪音: <50 dB.
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冷卻: 風(fēng)冷.
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電源: AC 208-240V, 50/60Hz
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防腐型真空計(jì)
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輸入電源 24V,1A DC(配有一電壓轉(zhuǎn)換器)
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測(cè)量范圍 3.8x10-5 -1125 Torr.
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數(shù)據(jù)顯示 數(shù)字顯示(屏幕尺寸為20x14mm),其數(shù)據(jù)顯示單位為torr
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接頭 1/8"NPT 接頭
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產(chǎn)品尺寸 46mm×28mm×126mm ( L x W x H)
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真空系統(tǒng)
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采用TRP-12的雙旋真空泵, 極限真空10E-3 Torr
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KFD25 快接,不銹鋼波紋管,手動(dòng)擋板閥與法蘭,真空泵相連.
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管內(nèi)真空可達(dá)10E-2 Torr
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質(zhì)量流量計(jì)混氣系統(tǒng)
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四個(gè)精密的質(zhì)量流量計(jì)(精度1.5% ) :數(shù)字顯示,自動(dòng)控制.
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MFC 1范圍: 0~100 sccm
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MFC 2和3: 0~200 sccm
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MFC 4范圍: 0~500 sccm
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一個(gè)混氣罐,底部裝有泄廢液口.
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4 個(gè)不銹鋼針閥安裝在供氣系統(tǒng)的左側(cè),可手動(dòng)控制4種氣體.
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進(jìn)氣口: 4個(gè)1/4NPS.
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出氣口: 4個(gè) 1/4NPS.
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采用PLC控制流量計(jì),通過觸摸屏進(jìn)行控制

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溫控系統(tǒng)
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三個(gè)溫區(qū)分別由三個(gè)溫控系統(tǒng)控制
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采用PID方式調(diào)節(jié)溫度,可設(shè)置30段升降溫程序
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帶有超溫和斷偶保護(hù)
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控溫精度:+/- 1 oC
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控溫儀表操作視頻
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可選;此款設(shè)備可以安裝控制模塊,將溫度設(shè)置和溫度曲線導(dǎo)入到電腦
 
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外型尺寸
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爐體:550 x 380 x 520 mm
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爐體下端移動(dòng)柜:1800×600×600mm
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凈重:220 Lbs.
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運(yùn)輸重量:1200lbs
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質(zhì)保期
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一年質(zhì)保期,終身維護(hù),相關(guān)耗材除外如爐管,密封圈等易耗件
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CE認(rèn)證
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所有電器元件(>24V)都通過UL?/?MET?/?CSA認(rèn)證
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若客戶出認(rèn)證費(fèi)用,本公司保證單臺(tái)設(shè)備通過德國(guó)TUV認(rèn)證或CAS認(rèn)證
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