2" (50mm) OD x 1.7" ID x 71" L

3.14" (80mm) OD x 2.83" ID x 71'' L

5" (130mm) OD x 4.8" ID x 84'' L

產(chǎn)品優(yōu)點(diǎn)

• 與傳統(tǒng)的CVD相比，只需較低的制備溫度
• .滑軌式可快速加熱和快速冷卻
• 兩個加熱區(qū)，溫度梯度*大可達(dá) 200oC
• *高工作溫度1100°C
• 提供一個寬范圍的材料制備 ，如碳和 ZnO 納米管或納米線以及單層石墨烯。
• 內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率，同時也可以延長儀器的使用壽命

等離子發(fā)射源

• 輸出功率:          5 -500W    ± 1% .
• 射頻頻率:          13.56 MHz    ±0.005% .
• 反射功率: *大 200W
• 匹配: 自動
• 射頻接口:       50 Ω, N-type
• 噪音:                    <50 dB.
• 冷卻: 風(fēng)冷.
• 電源:                AC   208-240V, 50/60Hz

真空泵機(jī)組

• 我公司有多種真空泵可選，請點(diǎn)擊圖片，或是致電我公司銷售
• 
• KFD25 快接，不銹鋼波紋管，手動擋板閥與法蘭，真空泵相連.
• 管內(nèi)真空可達(dá)10E-2 Torr
• 防腐型真空計( 美國) 安裝在左法蘭上.
• 本公司進(jìn)口的防腐型數(shù)字式真空顯示計，其測量范圍為3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因測量氣體種類不同而需要系數(shù)轉(zhuǎn)換。（點(diǎn)擊圖片查看詳細(xì)介紹）
  

質(zhì)量流量計

四個精密的質(zhì)量流量計(精度0.02% ) ：數(shù)字顯示，自動控制.

• MFC 1范圍:  0~100 sccm
• MFC 2和3:    0~200 sccm
• MFC 4范圍:   0~500 sccm
• 一個混氣罐，底部裝有泄廢液口.
• 4 個不銹鋼針閥安裝在供氣系統(tǒng)的左側(cè)，可手動控制4種氣體.
• 進(jìn)氣口: 4個1/4NPS.
• 出氣口: 4個 1/4NPS.

控溫軟件

• 計算機(jī)可以通過控溫軟件控制爐子：RS485 接口和軟件是免費(fèi)的，但需要購買數(shù)據(jù)線和一個控制模塊
• 為了獲得較大的升溫速度, 必須預(yù)熱到設(shè)定溫度，然后將爐子滑到樣品位置。
• 為了獲得較快的降溫速度,可將加熱的爐子從熱區(qū)滑到冷區(qū).

總尺寸

• 爐體: 550 x 380 x 520  mm
• 滑軌:   1750 mm 長
• 移動架: 1200 x 1200 x 600mm.
• 凈重: 220 Lbs.
• 運(yùn)輸重量: 500lbs.

為保證使用**，該電爐為開門斷電設(shè)計

• 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa
• 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加****
• 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài)
• 進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊
• 石英管的長時間使用溫度＜1100℃
• 對于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等）