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等離子源
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等離子體射頻電源:110V 或220VAC, 50/60 Hz, < 100W
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輸出頻率: 13.56 MHz
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三檔射頻功率大?。?/span> 7.2W. 10.5W 和 18W (可調(diào)節(jié))
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腔體尺寸:3"OD x 2.7"ID x 16" L
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儀器中帶有一套不銹鋼密封法蘭使得腔體內(nèi)部的真空度為10^-2 torr(用機械泵)
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滑動法蘭
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有一滑軌法蘭安裝于移動架上,以便于樣品的放入和取出。
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樣品可以放入加專線圈內(nèi),以達到更好的加熱效率和溫度的均勻性。
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加熱圈和溫控系統(tǒng)
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加熱圈尺寸:50mm OD x 40mm ID x 70mm,可使樣品達到的溫度為400℃
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加熱圈上套有一2" ID x 75mm L的石英罩,以減小熱量損失
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溫控方面:采用PID方式調(diào)節(jié)溫度,同時可設置30段升降溫程序,控溫精度為: +/-1oC
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輸入電源: AC 220V
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Coil heater
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Quartz protective tube
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Temp. Controller
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Heating coil
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Alumina boat
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兩通道混氣系統(tǒng)
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混氣箱上安裝有兩個浮子流量計,其量程為10-100SCCM
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三個機械壓力表:-0.1-0.15 MPa,
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混氣箱上安裝有304不銹鋼針閥
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配有三根1/4"的聚四氟乙烯管
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混氣箱尺寸: 340Lx300Dx 180H, mm ( 13.4"x12"x7").
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凈重: 14 lbs.
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真空和氣體接口
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標準的真空配置有
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一套3"的不銹鋼法蘭(上面安裝有KF-25的真空泵接口,一個1/4"卡套接頭和不銹鋼針閥)
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一根KF25的波紋管(長度為1m)和三KF25卡箍
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一個數(shù)字式真空顯示計
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等離子腔體中可以通入多種惰性性氣體,如N2, Ar, Air ,以及各種混合性氣體。
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可以調(diào)整腔體內(nèi)的壓力或是進氣流量,確保等離子體達到樣品處
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(注意:不可通入易燃易爆性氣體)
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真空泵
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儀器中配有一雙旋機械真空泵,其抽氣速率為120L/min,
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進氣口為KF25接口,可以使腔體內(nèi)真空度小于30mTorr
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移動架
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設備中配有一 600L x 600W x 600H(mm)的移動架,整個CVD系統(tǒng)可以安置于其上面
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儀器尺寸
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等離子源: 8.5" H x 10" W x 8" D
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溫控盒: 4"H x 10"W x 8"D
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移動架:600 x 600 x 600mm
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重量
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70 lb (包含真空泵)
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質(zhì)保期
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一年質(zhì)保期(不包含石英管和密封圈)
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CE 認證
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