等離子源

• 等離子體射頻電源：110V 或220VAC, 50/60 Hz, < 100W
• 輸出頻率： 13.56 MHz
• 三檔射頻功率大?。?/span> 7.2W. 10.5W 和 18W （可調(diào)節(jié)）
• 腔體尺寸：3"OD x 2.7"ID x 16" L
• 儀器中帶有一套不銹鋼密封法蘭使得腔體內(nèi)部的真空度為10^-2 torr（用機械泵）

滑動法蘭

• 有一滑軌法蘭安裝于移動架上，以便于樣品的放入和取出。
• 樣品可以放入加專線圈內(nèi)，以達到更好的加熱效率和溫度的均勻性。

加熱圈和溫控系統(tǒng)

• 加熱圈尺寸：50mm OD x 40mm ID x 70mm，可使樣品達到的溫度為400℃
• 加熱圈上套有一2" ID x 75mm L的石英罩，以減小熱量損失
• 溫控方面:采用PID方式調(diào)節(jié)溫度，同時可設置30段升降溫程序，控溫精度為： +/-1oC
• 輸入電源： AC 220V
  

  Coil heater	Quartz protective tube	Temp. Controller	Heating coil	Alumina boat

兩通道混氣系統(tǒng)

• 混氣箱上安裝有兩個浮子流量計，其量程為10-100SCCM
• 三個機械壓力表：-0.1-0.15 MPa,
• 混氣箱上安裝有304不銹鋼針閥
• 配有三根1/4"的聚四氟乙烯管
• 混氣箱尺寸:  340Lx300Dx 180H, mm    ( 13.4"x12"x7").
• 凈重: 14 lbs.

真空和氣體接口

標準的真空配置有

• 一套3"的不銹鋼法蘭（上面安裝有KF-25的真空泵接口，一個1/4"卡套接頭和不銹鋼針閥）
• 一根KF25的波紋管（長度為1m)和三KF25卡箍
• 一個數(shù)字式真空顯示計
• 等離子腔體中可以通入多種惰性性氣體，如N2, Ar, Air ，以及各種混合性氣體。
• 可以調(diào)整腔體內(nèi)的壓力或是進氣流量，確保等離子體達到樣品處
• （注意：不可通入易燃易爆性氣體）

真空泵

• 儀器中配有一雙旋機械真空泵，其抽氣速率為120L/min,
• 進氣口為KF25接口，可以使腔體內(nèi)真空度小于30mTorr

移動架

設備中配有一 600L x 600W x 600H（mm)的移動架，整個CVD系統(tǒng)可以安置于其上面

儀器尺寸

• 等離子源： 8.5" H x 10" W x 8" D
• 溫控盒： 4"H x 10"W x 8"D
• 移動架：600 x 600 x 600mm

重量

70 lb (包含真空泵)

質(zhì)保期

一年質(zhì)保期（不包含石英管和密封圈）