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- 產(chǎn)品名稱：小型PECVD管式爐系統(tǒng)--OTF-1200X-50S-PE
- 產(chǎn)品型號(hào)：
- 產(chǎn)品展商：其它品牌
- 產(chǎn)品文檔：無相關(guān)文檔
- 發(fā)布時(shí)間：2018-03-31
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簡(jiǎn)單介紹
小型PECVD管式爐系統(tǒng)--OTF-1200X-50S-PE
產(chǎn)品描述
OTF-1200X-50S-PE是一款小型的PE-CVD（等離子體氣相沉積）管式爐系統(tǒng)。此套設(shè)備帶有500W的等離子射頻電源，一個(gè)爐管直徑為50mm的開啟式管式爐（帶有真空法蘭和連接管道）和一個(gè)直聯(lián)式雙旋機(jī)械泵。因此這套設(shè)備模型可以更新為不同的PECVD 系統(tǒng)。對(duì)于有限的經(jīng)費(fèi)的情況下來進(jìn)行材料探索，此套系統(tǒng)極為理想。
特征
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與普通CVD相比可以在低溫環(huán)境下進(jìn)**相沉積實(shí)驗(yàn)
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對(duì)于薄膜的應(yīng)力可以通過射頻電源的頻率來進(jìn)行控制
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通過工藝調(diào)節(jié)來控制化學(xué)計(jì)量
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能夠廣泛地用于各種材料沉積，如SiOx, SiNx, SiOxNy 和無定型硅(a-Si:H) 等.
技術(shù)參數(shù)
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開啟式管式爐
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輸入電源：208 – 240V AC, 1.2kW
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*高工作溫度1200℃（小于1小時(shí)）
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連續(xù)使用溫度1100℃
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采用高純氧化鋁作為爐膛材料，并且表面涂有美國(guó)進(jìn)口高溫氧化鋁涂層，可延長(zhǎng)儀器使用壽命和提高加熱效率
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高純石英爐管，尺寸為 50mmOD x 44mmID x 780mmL
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可設(shè)置30段升降溫程序，并帶有過熱和斷偶保護(hù)
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加熱區(qū)長(zhǎng)度為200mm,恒溫區(qū)長(zhǎng)度為60mm(+/-1°C) 注：由于測(cè)量手段及外部環(huán)境的影響，測(cè)量結(jié)果可能會(huì)有偏差，此參數(shù)僅供參考不作為該設(shè)備的技術(shù)指標(biāo)。您購(gòu)買產(chǎn)品需要準(zhǔn)確的恒溫區(qū)數(shù)據(jù)，請(qǐng)與我公司銷售人員聯(lián)系
  
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等離子體射頻電源
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輸出功率: 5 -500W可調(diào)
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穩(wěn)定性為+/-1%
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射頻電源頻率13.56 MHZ, 穩(wěn)定性±0.005%
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*大反向功率: 200W max
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射頻電源電子輸出口: 50 Ω, N型半島體, 陰極
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噪聲<50 dB.
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冷卻方式：空氣冷卻
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輸入電源: 208-240VAC, 50/60Hz
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真空法蘭和接頭
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真空法蘭采用304不銹鋼制作
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左端法蘭上安裝有防腐型數(shù)字真空計(jì)、不銹鋼針閥和一個(gè)球閥。
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右端法蘭設(shè)計(jì)為KF25接口，上面配有泄氣閥，擋板閥和兩個(gè)KF25卡箍
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儀器中所配的數(shù)字真空計(jì)，可以不用因使用氣體的不同而進(jìn)行校正，同時(shí)還具有防腐功能（請(qǐng)點(diǎn)擊圖片查看詳細(xì)介紹）
 
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真空泵
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AC 220V 50 Hz 1/2HP 375W
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2L/s
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與本公司管式爐配套使用，可使其真空度達(dá)到10-2 torr
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進(jìn)氣端帶有儲(chǔ)氣球（防止回油），出氣端安裝有油霧過濾器（防止油霧擴(kuò)散到空氣中，保護(hù)環(huán)境和人體健康）
 
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產(chǎn)品尺寸和重量
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外形尺寸：1500mm x 600mm x 1200mm( L x W x H)
凈重: 160 lbs
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可選配置
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請(qǐng)點(diǎn)擊查看下面的混氣及氣液混合系統(tǒng)
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防腐型小型三路浮子混氣系統(tǒng)
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精密氣液混合系統(tǒng)
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三路質(zhì)子混氣系統(tǒng)
 
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開門斷電
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為保證使用**，該電爐為開門斷電設(shè)計(jì)
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質(zhì)保期
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一年質(zhì)保期，終身維護(hù)（不包括爐管、硅膠密封圈和加熱元件）
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CE Certified
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使用注意事項(xiàng)：
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爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa
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由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購(gòu)減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加****
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當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí)，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài)
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進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對(duì)加熱石英管的沖擊
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石英管的長(zhǎng)時(shí)間使用溫度＜1100℃
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對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等）
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