爐體結(jié)構(gòu)和真空腔體

• 采用兩個(gè)溫度控制器，分別控制頂部和底部兩組加熱元件。安裝有浮子流量計(jì)，可向真空腔體中通入氣體
  
• 真空腔體為一高純的石英管，其尺寸為：11" OD/10.8" ID x 9" Hmm

真空法蘭

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• 真空法蘭為316不銹鋼制作
  
• 頂部法蘭上有一KF25接口，可以與真空泵相連接，另外安裝有兩個(gè)1/4" 軟管接頭的出氣口
  
• 底部法蘭上有一KF25接口，可以與真空泵相連接，另外安裝有兩個(gè)1/4" 軟管接頭的進(jìn)氣口
  
• 法蘭是通過兩個(gè)硅膠O型圈進(jìn)行密封，用機(jī)械泵其腔體內(nèi)真空度可達(dá)10^-2 torr，用分子泵其腔體內(nèi)真空度可達(dá)10^-4torr.

加熱元件和載樣臺

• 由兩組紅外燈管作為加熱元件，分別位于頂部和底部
  
• 兩個(gè)加熱臺之間的距離可以通過直流電機(jī)調(diào)節(jié)，調(diào)節(jié)范圍為：2-50mm
  
• 為了減少熱量輻射和達(dá)到較快的冷卻速率，加熱元件安裝在帶有水冷夾層的不銹鋼殼體中，（不銹鋼殼體采用316不銹鋼制作）
  
• 采用導(dǎo)熱率較高的氮化鋁陶瓷片（5"×5"×0.5mm厚度）作為載樣臺，以達(dá)到較好的加熱均勻性
  
• 底部載樣臺上可放入5"x5"的石墨坩堝來盛放蒸發(fā)原料
  
• 此款儀器使用時(shí)需要配用一循環(huán)水冷機(jī)（16L/m)
  
  

溫控系統(tǒng)

• 兩個(gè)精密的溫控系統(tǒng)分別獨(dú)立控制上下兩個(gè)加熱區(qū)，可設(shè)置30段升降溫程序
  
• 每個(gè)溫控系統(tǒng)都帶有超溫和斷偶保護(hù)
  
• PC通訊接口，軟件可安裝，可將控溫程序和溫度曲線導(dǎo)入到電腦中
  
• 控溫儀表操作視頻
  
• 

工作溫度

• *高工作溫度為：800℃
  
• 兩個(gè)加熱區(qū)之間的*大溫差為300℃

加熱和冷卻速率

• 加熱速率> 8oC/s（每個(gè)溫區(qū)單獨(dú)加熱）
  
• 冷卻速率> 10oC/s (600 - 100oC)

熱電偶

兩個(gè)K型熱電偶，安裝在頂部和底部，都與氮化鋁陶瓷片相接觸

工作電壓

208 - 240VAC, 單相,（需要20A的空氣開關(guān)）

功率

3KW

可選

• 實(shí)驗(yàn)時(shí)需要一個(gè)真空泵，可與本公司選購真空泵

• 采用機(jī)械泵可使腔體內(nèi)的真空度達(dá)到< = 10E-2 torr
  
• 若要使真空腔體內(nèi)達(dá)到更潔凈的工作環(huán)境，可換購無油泵
  
• 也可選購質(zhì)子流量計(jì)混氣系統(tǒng)，將實(shí)驗(yàn)所需氣體安比列混好后導(dǎo)入到真空腔體中
• 

質(zhì)保

一年質(zhì)保期，終生維護(hù)（不包括密封圈、加熱元件和石英管）

使用注意事項(xiàng)

• 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa
  
• 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加****
  
• 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí)，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài)
  
• 進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊
  
• 石英管的長時(shí)間使用溫度＜1100℃
  
• 對于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等）