- 如果您對該產(chǎn)品感興趣的話,可以
- 產(chǎn)品名稱:真空旋轉(zhuǎn)涂膜機--VTC-100PA(加熱型)
- 產(chǎn)品型號:
- 產(chǎn)品展商:其它品牌
- 產(chǎn)品文檔:無相關(guān)文檔
- 發(fā)布時間:2018-03-30
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簡單介紹
真空旋轉(zhuǎn)涂膜機--VTC-100PA(加熱型)
產(chǎn)品描述
? ? ? ? ? ?VTC-100PA真空旋轉(zhuǎn)涂膜機適用于半導(dǎo)體、晶體、光盤、制版等表面涂覆工藝。本機可用于強酸、強堿性涂覆溶液的涂膜制備。
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?技術(shù)參數(shù)
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主要特點
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真空吸附方式固定樣件,操作簡便。
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使用定位工具可將樣件很容易地放在中心位置,以減少偏心而造成的震動或飛片。
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根據(jù)樣件規(guī)格可以配用不同的吸盤,且更換方便簡單。
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設(shè)有12組程序,每組包含6個運行階段。
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電機啟動快速穩(wěn)定,可以保證涂層厚度的一致性和均勻性。
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50W/24V 直流電機
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適于在Ar氣環(huán)境中工作(真空泵放置在手套箱外)?
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參數(shù)
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?電機功率:50W/24V
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?速度范圍:500-10000rpm
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?程序運行:可儲存12組程序,每組程序包含6個運行階段
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?增減速率設(shè)置范圍:100rpm/s-2000rpm/s
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?時間范圍:0-60s
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?吸盤:Φ19mm、Φ60mm
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進氣口 |
上蓋有一個直徑6mm的進氣口可將需要的氣體通入腔體,實現(xiàn)在氣氛環(huán)境下旋轉(zhuǎn)涂覆

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可選加熱部分 |
??? 上蓋內(nèi)部增加紅外燈管加熱,采用K型熱偶測溫,數(shù)字溫控器控溫,*高120℃,可使得樣品涂覆后原位烘干,用于薄膜太陽能電池等研究。
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產(chǎn)品規(guī)格
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尺寸:450mm×280mm×340mm;
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重量:20kg
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標(biāo)準(zhǔn)配件
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1
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真空吸盤(含O型圈)
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2個
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2
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中心定位器(含4個定位柱)
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1個
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3
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滴膠注射器(20ml)
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1個
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4
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注射器支架
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1個
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5
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AP-1400V無油真空泵
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1臺
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6
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橡膠管(含卡箍)
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1根
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可選配件
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過濾器(真空泵用)
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