CGM-2F是一款小型的兩通道混氣系統(tǒng)，用于惰性氣體的控制，可用以小型管式爐，手套箱，等離子清洗機，小型PECVD系統(tǒng)等。
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技術(shù)參數(shù)
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名稱
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小型雙通道浮子混氣系統(tǒng)--CGM-2F
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浮子流量計
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兩個浮子流量計可以將流量速率控制在16 to 160 mL/min
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混氣罐
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內(nèi)置一個不銹鋼混氣罐，可以良好的混氣
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機械壓力表（混氣罐）
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-0.1-0.15 MPa
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關(guān)鍵和閥門
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·采用ss304不銹鋼
·三管件接口直徑為1/4”（接管可選聚四氟或不銹鋼）
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外形尺寸
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340 mm L x 300 D mm x 180 H mm
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可選
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·CVD或者PECVD
·液相氣體發(fā)生器
·1200℃微型二通道混氣CVD系統(tǒng)--OTF-1200X-S50-2F
·Plasma等離子清洗
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凈重
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約10 Kg
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質(zhì)保期
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一年保修，終身技術(shù)支持。
特別提示：1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。
2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。
點擊查看售后服務(wù)承諾書。
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免責聲明
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