名稱

3"等離子清洗機(jī)--PDC-36G

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視頻

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主要特點

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·結(jié)構(gòu)緊湊、小型化的桌上型儀器

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·用各種氣體清洗和去除晶片上納米級有機(jī)污染物

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·在制膜實驗之前預(yù)先清潔鍍膜基底的優(yōu)良工具。清洗后鍍膜的質(zhì)量可以更好

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·鉸鏈?zhǔn)介T，方便裝樣

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·石英腔的直徑是3英寸，在里面可以放入一個石英舟，*大清洗一個2英寸的基片

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·清洗腔里面的石英管可以拆卸，方便清洗和更換

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·使用可調(diào)射頻電源，可以設(shè)置功率為低、中、**別；低成本、操作**

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主要參數(shù)

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·低功率設(shè)定：直流680V，10mA,6.8W

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·**率設(shè)定：直流700V，15mA,10.5W

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·高功率設(shè)定：直流720V，25mA,18W

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·射頻源輸出頻率：13.56MHz

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·等離子直流電源

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·輸入電壓：220V,50Hz

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等離子腔室

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·直徑75mmx長200mm的石英墻體，前蓋可以開啟

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·高純度石英腔體，使用壽命比玻璃長

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真空計

設(shè)備標(biāo)配一個數(shù)顯電阻真空機(jī)用于實時監(jiān)測清洗倉內(nèi)的真空度。

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可選配件

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·您可以訂購額外的石英腔體，用于備用

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·如果需要一個通入兩種氣體的工藝解決方案，PDC-36G等離子清洗機(jī)可以與2路混氣系統(tǒng)組合（點擊下面**張圖片了解詳情）

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·您可以訂購石英晶片載體來清潔2英寸晶片

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真空泵和閥

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·此設(shè)備不包含真空泵

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·您可以點擊下方圖片了解真空泵信息

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工作氣體

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·多種氣體可以用于等離子清洗，例如氮氣、氬氣、空氣、混合氣體，主要取決于處理何種材料。

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·可以使用<4％的H2混合惰性氣體

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·警示：不能使用可燃性及腐蝕性氣體

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等離子清洗及刻蝕的方法

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外形尺寸

353mm（L）x380mm（W）x225mm?（H）

凈重

8kg（不含泵）

認(rèn)證

CE認(rèn)證

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質(zhì)保期

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一年保修，終身技術(shù)支持。

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特別提示：1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。

2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。

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點擊查看售后服務(wù)承諾書。

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工作原理

等離子清洗機(jī)工作原理

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免責(zé)聲明

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